초록 ▼

1980년대 중반 반도체 제조공정을 이용하여 미소기계요소 제반 및 전자회로와의 집적화를 가능케 한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술이 탄생하였다. 90년대 초반부터 미국ㆍ유럽ㆍ일본 등 기술선진국에서는 국가적인 차원에서의 관련 기술개발을 위해 대형 연구프로그램을 추진해오고 있다. 우리나라에서는 국가선도기술개발사업의 일환으로 G7 MEMS 기술개발사업을 추진하여 1995년 12월부터 2002년 9월까지 6년 10개월 동안 총725억(정부 380억, 민간 345억)원을 투입하여 MEMS 기술의 산학

1980년대 중반 반도체 제조공정을 이용하여 미소기계요소 제반 및 전자회로와의 집적화를 가능케 한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술이 탄생하였다. 90년대 초반부터 미국ㆍ유럽ㆍ일본 등 기술선진국에서는 국가적인 차원에서의 관련 기술개발을 위해 대형 연구프로그램을 추진해오고 있다. 우리나라에서는 국가선도기술개발사업의 일환으로 G7 MEMS 기술개발사업을 추진하여 1995년 12월부터 2002년 9월까지 6년 10개월 동안 총725억(정부 380억, 민간 345억)원을 투입하여 MEMS 기술의 산학연 기반 확보에 주력해왔다.
최근 국외 선진국에서는 MEMS 기술을 기반으로 한 새로운 산업분야 형성과 신규 기업체의 창출은 물론 기존 산업의 경쟁력 강화와 첨단 고부가가치 영역으로의 발전전환을 꾀하고 있다. 이에 국내 기술성과를 결집하고 이의 종합적인 활용을 통하여 국제경쟁력을 갖춘 제품을 개발함으로써 국내 MEMS 산업화의 꽃을 피우고 그 결실을 거두기 위한 종합적인 전략과 장기발전 계획 수립이 절실히 요구되고 있다. 이에 본 심층기술보고서는 최근 국내외 MEMS 기술의 발전동향 및 시장 분석과 관련 국가기술개발사업의 성과분석, 그리고 이를 근거로 한 국내 MEMS 기술의 성숙과 향후 기술개발 방안에 관해 토의한다.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 머리말 ... 2
• 목차 ... 4
• 표차례 ... 8
• 그림차례 ... 10
• 제1장 서론 ... 12
• 1. 보고서 작성개요 ... 12
• 2. MEMS 기술의 배경 및 특성 ... 13
• 가. 과학ㆍ기술적 측면 ... 13
• 나. 경제ㆍ산업적 측면 ... 14
• 다. 사회ㆍ문화적 측면 ... 14
• 3. 목표 및 범위 ... 15
• 가. 목표 ... 15
• 나. 범위 ... 15
• 제2장 NEMS 기술 동향분석 ... 16
• 1. MEMS 기술 개요 및 특성 ... 16
• 가. MEMS 기술 개요 및 특성 ... 16
• 나. MEMS 기술의 중요성 ... 19
• (1) 정책적 측면 ... 19
• (2) 기술적 측면 ... 20
• 다. MEMS 산업 분야 및 특성 ... 22
• (1) 자동차 분야 ... 22
• (2) 정보ㆍ통신 분야 ... 23
• (3) 컴퓨터ㆍOA 분야 ... 23
• (4) 전자ㆍ가전 분야. ... 24
• (5) 의료ㆍ환경 분야 ... 24
• 2. MEMS 기술 연구개발동향 ... 25
• 가. 국외 기술 및 개발동향 ... 25
• (1) 국외 학술대회 논문 분석 ... 25
• (2) 국가별 MEMS 기술동향 ... 26
• (3) 국가별 기술개발 현황 ... 27
• 나. 국내 기술 및 개발동향 ... 29
• (1) 국내 학술대회 논문 분석 ... 29
• (2) 국내 MEMS 기술개발 사업 분석 ... 31
• (3) 국내 MEMS 연구기관 현황 분석 ... 39
• 제3장 MEMS 특허정보 분석 ... 51
• 1. 특허분석 목적 ... 51
• 가. 특허 정보의 중요성 ... 51
• 나. 특허분석의 목적 ... 52
• 2. 특허분석 방법 ... 53
• 가. 특허 검색 조건 및 분석 기준 ... 53
• (1) 특허 검색 조건 ... 53
• (2) 특허 분석 기준 ... 54
• 나. 제품분류 및 검색어 선정 ... 55
• 3. 전반적인 특허동향 ... 58
• 가. MEMS 관련 특허 검색 결과 ... 58
• 나. MEMS 관련 특허의 연도별 동향 ... 58
• 다. MEMS 관련 특허 의 출원인별 동향 ... 61
• 4. 국가별 특허동향 ... 64
• 가. MEMS 특허의 국가별 동향 ... 64
• 나. 각 제품분류별 특허의 국가별 동향 ... 68
• 5. 기술별 특허동향 ... 72
• 가. 센서 대분류 내의 각 소분류에 대한 분석 ... 74
• 나. 액추에이터 및 동력부품 대분류 내의 각 소분류에 대한 분석 ... 75
• 다. 미소부품(단위기능소자) 대분류 내의 각 소분류에 대한 분석 ... 76
• 라. 복합부품(복합기능소자) 대분류 내의 각 소분류에 대한 분석 ... 77
• 마. 도구 대분류 내의 각 소분류에 대한 분석 ... 79
• 6. 특허정보 분석 요약 ... 80
• 제4장 MEMS 시장 동향분석 ... 83
• 1. 시장조사 범위 및 방법 ... 83
• 가. 시장조사 범위 ... 83
• 나. 시장조사 방법 ... 83
• 다. 시장 분류 ... 85
• (1) 산업별 분류 ... 85
• (2) 제품별 분류 ... 86
• 2. 세계시장 분석 ... 87
• 가. 세계시장의 현황 및 전망 ... 87
• (1) MEMS : An SPC Market Study(System Planning Corp.,1999) ... 87
• (2) Japan Micromachine Center(1999년) ... 88
• (3) Venture Development Corp.(2000년) ... 88
• 나. 세계 시장의 지역별 분포 현황 ... 89
• 다. 세계 시장의 제품별 분포 현황 및 전망 ... 90
• 3. 미국 시장 분석 ... 91
• 가. 미국 시장의 현황 및 전망 ... 91
• 나. 미국 시장의 산업별 분포 ... 93
• 다. 미국 시장의 산업별 참여 기업 및 분포 ... 96
• 4. 산업별 시장 분석 ... 102
• 가. 자동차 분야 시장 ... 102
• (1) 시장의 현황 및 전망 ... 102
• (2) 시장의 제품별 분포 ... 104
• 나. Information Technology/Industrial 분야 시장 ... 106
• (1) 시장의 현황 및 전망 ... 106
• (2) 시장의 제품별 분포 ... 107
• 다. 의료ㆍ환경 분야 시장 ... 109
• (1) 시장의 현황 및 전망 ... 109
• (2) 시장의 제품별 분포 ... 111
• 라. 국방ㆍ항공 분야 시장 ... 113
• (1) 시장의 현황 및 전망 ... 113
• 마. 산업별 미국 시장의 총괄 분석 및 요약 ... 116
• 제5장 결론 ... 119
• <참고문헌> ... 126