초록 ▼

본 과제의 목표는, 저유전률 및 향상된 특성(용해도, 상용성, 무색투명성)을 갖는 새로운 폴리이미드 재료를 개발하는 데 있다. 이러한 목표를 달성하기 위하여 다음과 같은 연구를 수행하였다. 우선, 유전률을 감소시키기 위하여, 나노미터 수준의 기공을 폴리이미드 박막 중에 형성시키며, 기존의 방향족(aromatic) 구조를 지환식(aliphatic) 구조로 대체한 폴리이미드를 합성하였다. 또한, 기공을 형성하는 역할을 하는 labile 고분자를 간편하게 구입할 수 있는 구조로 대체한다. 이를 통하여 산업적 응용 가능성이 높은 새로운 저

본 과제의 목표는, 저유전률 및 향상된 특성(용해도, 상용성, 무색투명성)을 갖는 새로운 폴리이미드 재료를 개발하는 데 있다. 이러한 목표를 달성하기 위하여 다음과 같은 연구를 수행하였다. 우선, 유전률을 감소시키기 위하여, 나노미터 수준의 기공을 폴리이미드 박막 중에 형성시키며, 기존의 방향족(aromatic) 구조를 지환식(aliphatic) 구조로 대체한 폴리이미드를 합성하였다. 또한, 기공을 형성하는 역할을 하는 labile 고분자를 간편하게 구입할 수 있는 구조로 대체한다. 이를 통하여 산업적 응용 가능성이 높은 새로운 저유전성 폴리이미드가 개발될 것으로 기대되고, 또한 학문적으로도, 지환식 폴리이미드에 대한 나노기공 형성에 대한 최초의 연구가 되므로 큰 의미가 있다고 판단된다.

Abstract

Nanopores were introduced into polyimide films to lower their dielectic constant. The porous polyimides were prepared from triblock copolymers consisting of a polyimide block and a thermally labile polymer block.

목차 Contents

• 요약문 ...1
• SUMMARY ...4
• 목차 ...5
• Contents ...7
• 표목차 ...9
• 그림목차 ...10
• 제 1 장 서 론 ...12
• 제 1 절 반도체용 저유전률 절연막 ...12
• 1. 반도체의 발전과 저유전 물질 ...12
• 2. 저유전 물질의 개발 동향 ...14
• 3. 폴리이미드 절연막의 연구 동향 ...16
• 제 2 절 본 연구의 목적 ...18
• 제 2 장 본 론 ...19
• 제 1 절 열분해성 고분자의 합성 및 분석 ...19
• 1. 열분해성 고분자의 합성 ...19
• 2. 열분해성 고분자의 구조 확인 ...21
• 3. 열분해성 고분자 PPO의 열적 성질 ...23
• 제 2 절 방향족 폴리이미드의 블록 공중합체 합성 및 나노기공 형성 ...25
• 1. 블록 공중합체의 합성 ...25
• 2. 블록 공중합체의 열적 성질 ...31
• 3. 블록 공중합체의 필름 형성 ...34
• 4. 블록 공중합체의 나노기공 형성 및 평가 ...36
• 5. 유전률 평가 ...39
• 제 3 절 부분 지환식 폴리이미드의 블록 공중합체 합성 및 나노기공 형성 ...41
• 1. Dianhydride의 합성 ...41
• 2. 블록 공중합체의 합성 ...43
• 3. 블록 공중합체의 열적 특성 ...45
• 4. 블록 공중합체의 나노기공 형성 및 평가 ...47
• 5. 유전률 평가 ...49
• 제 4 절 전 지환식 폴리이미드의 블록 공중합체 합성 및 나노기공 형성 ...51
• 1. Dianhydride의 합성 ...51
• 2. 블록 공중합체의 합성 ...53
• 3. 블록 공중합체의 열적 성질 ...55
• 제 3 장 결 론 ...57
• 제 4 장 참고문헌 ...58