초록 ▼

1. 산업적/기술적 환경
통합 제진 시스템 및 장비는 초정밀 제진 기술이 요구되는 반도체 장비, 디스플레이 장비 및 나노급 초정밀 가공/검사 장비의 핵심부품으로 단위 제품으로 보다는 관련 장비 산업의 수요에 전적으로 의존하고 있는 특성이 있다.
따라서 제진 장비 및 시스템의 수급 동향은 미세한 진동으로부터 생산성 저하 및 품질 불량을 겪고 있는 반도체, 디스플레이 및 초정밀/나노 가공검사 장비 군의 수급 동향에 지배된다. 통합제진 시스템은 이러한 연관 산업의 필요성에 의하여 제품의 요구 성능 에 대응하기 위한 방향으로

1. 산업적/기술적 환경
통합 제진 시스템 및 장비는 초정밀 제진 기술이 요구되는 반도체 장비, 디스플레이 장비 및 나노급 초정밀 가공/검사 장비의 핵심부품으로 단위 제품으로 보다는 관련 장비 산업의 수요에 전적으로 의존하고 있는 특성이 있다.
따라서 제진 장비 및 시스템의 수급 동향은 미세한 진동으로부터 생산성 저하 및 품질 불량을 겪고 있는 반도체, 디스플레이 및 초정밀/나노 가공검사 장비 군의 수급 동향에 지배된다. 통합제진 시스템은 이러한 연관 산업의 필요성에 의하여 제품의 요구 성능 에 대응하기 위한 방향으로 기술개발과 제품 개발이 이루어진다.
따라서 제진 시스템은 반도체, 디스플레이 및 나노가공 장비의 성능을 결정하는 핵심 기술 및 부품으로 단순 기능 제품이 아니라 각 장비의 사용 환경 및 성능특성을 고려한 전문적인 관련 지식을 요하는 지식기반형의 고부가 가치화 산업의 대표적인 예라 할 수 있다.
제진시스템은 초정밀 가공·검사 장비를 구성하기위한 기본 Platform으로 반도체 등 첨단가공이 요구되는 제품을 생산하는 공장의 진동 환경 및 방진 구조에 적합하도록 구성하여야 하며, 예측하기 어려운 내·외부 진동외란으로부터 장비의 최적 성능을 유지하도록 하는 기능 장치이다.
특히 초정밀 광학계로 구성되는 노광장치 (Photo-Lithography)류 구매에 있어서 장치의 성능을 확보하기 위하여 공장 진동 상태 진단 해석 작업이 사전에 이루어지며, 이를 토대로 적합한 제진시스템에 대한 옵션 사양을 부여하여 장비를 발주하게 된다. 따라서 장비 제작 업체는 제진시스템 업체와의 협의를 통하여 장치를 설계하여 제작 납품하게 된다. 납품 후에도 수요자는 장비의 성능을 최적으로 유지하기 위하여 주기적인 제진 성능 진단과 시스템 조정 (Tuning & Calibration)을 실시하여야 한다. 즉 장비 업체는 초기 설치만 담당하지만, 제진장비 업체는 유지 보수 계약을 통하여 지속적인 지식 서비스 용역을 수행하는 상업적인 구조를 형성하고 있다.
이와 같은 제진 산업의 구조는 최근 초고집적화를 지향하는 나노 반도체·FPD 기술 분야에서 두드러지고 있다.
2. 시장 환경
○ 세계시장 규모
○ 국내시장규모
3. 기술분석
○ 기술수명주기
4. 사업추진 체계 및 상업화 추진 전략
○ 사업추진 체계
○ 상업화 추진 전략
- 장비개발 업체 참여 및 최종 수요 기업 개발협력에 의한 기술개발
- 2단계 사용화 개발 단계 장비 업체 참여 (최종 수요업체 지정)
○ 상업화 추진 계획
5. 기술개발 효과
○ 기술적 효과
- 기술 상용화를 통한 지식기반형 고부가 가치 산업화 기술 선점 효과
- 반도체 및 FDP 수출 전략화 산업화 추진 효과
- 후방 산업인 반도체/FPD 장비 산업의 기술 경쟁력 강화
○ 경제적 효과
- 수입에 의존하고 있는 반도체 및 FPD 장비 수출 증대, 수입대체 효과
- 직접 고용 창출 효과 (1355명), 간접 고용 창출 효과 (3360.5명)
- 반도체/FPD 분야 석박사급 고급인력 양성 효과
○ 매출 증대 효과
○ 연관 산업에 미치는 효과
□ 국내 첨단정밀 산업에서의 진동 문제에 의한 경제 기여효과
- 반도체/FPD 분야 피해사례
▶ 스촨성 지진의 전파 여진에 의한 장비 고장발생 : 2개사 4건
▶ 나노진동에 의한 품질 저하 : 수십건
▶ 반도체 Fab내 주변장치에 의한 품질불량 : 수백건/년
▶ 검사장비의 제진미흡에 의한 품질검사 오작 발생 : 수십건/년
- A/S 비용으로 인한 원가 상승 : 300억/년 이상
- 불량으로 인한 경제적 비용 피해 : 500억원 이상으로 추정됨
□ 후방산업 국제경쟁력 강화 효과
- 국내 반도체 및 FPD 장비 산업 수출전략화를 위한 기술 기반확보
- 개발 핵심 기술 응용에 의한 고부가가치 핵심부품 산업화 효과(자동차의 능동형 제진장치 : 국내산업규모 (2~3조원규모))
- 전후방산업의 기여적 경제 효과 : 200억/년 이상으로 추정됨

목차 Contents

• 연구기획사업 최종보고서 제출서...1
• 제출문...3
• 요약문...4
• 목차...18
• 1. 서론...20
• 1.1 해당 산업의 특성...20
• 1.2 산업의 기술.경제적 위치...24
• 1.3 기획의 범위 및 세부내용...25
• 1.4 추진체계...28
• 1.5 방법론...30
• 1.6 추진일정...31
• 2. 산업환경 분석...32
• 2.1 산업구조 분석...32
• 2.2 시장환경 분석...49
• 2.2.1 세계시장 규모...49
• 2.2.2 국내 수요, 공급 규모...51
• 2.2.3 향후시장 전망...56
• 2.3 연구개발 인프라 분석...59
• 2.3.1 국내 제조업체 현황 및 연구기반 현황...59
• 2.3.2 정부지원 정책 현황...61
• 2.4 향후 산업동향과 정책방향...65
• 3. 기술분석...68
• 3.1 기술동향...68
• 3.1.1 국내 기술개발 동향...68
• 3.1.2 선진국의 기술개발 동향...73
• 3.2 국내외 특허 현황 및 분석...98
• 3.3 기술 로드맵...101
• 3.4 세부기술 내용...102
• 3.5 세부기술 선정기준...113
• 4. 추진계획...118
• 4.1 추진 전략...118
• 4.2 단계별 추진대상과제...120
• 4.3 예산소요계획...120
• 4.3.1 총 소요자금...120
• 4.3.2 대상과제별 소요자금...121
• 4.4 인력투입계획...121
• 4.5 상업화 추진 전략 및 계획...122
• 5. 기술개발 효과...124
• 5.1 기술적 효과...124
• 5.2 경제적 효과...125
• 5.3 전략적 효과...130
• 6. 결론...132
• 6.1 과제선정 논리...132
• 6.2 공고내용 작성...132
• 6.2.1 총괄과제의 목표 및 내용...133
• 6.2.2 세부과제의 목표 및 내용...135
• 6.2.3 도출 세부과제의 개발일정 계획...138
• 7. 기술기획위원회 연구기획 참여자 명단...140
• 8. 참고문헌...142
• 부록 #1 반도체 장비 분류 및 산업 시장 현황...144
• 부록 #2 국내외 특허 현황 및 분석 자료...158