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첨단측정장비 핵심요소기술 개발
Development of Core Technology for Advanced Instruments 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-10
과제시작연도 2010
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 기초기술연구회
등록번호 TRKO201100004072
과제고유번호 1345136076
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 우주광학,타원계측,다이싱,전자광학,이온광학,자성현미경,원자현미경space optics,ellipsometry,dicing,electron optics,ion optics,SEMPA,AFM
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201100004072

초록 ▼

광학 측정장비 요소기술 분야
- 직경 2m 형상측정탑 설계, 간섭계 개발
- 신개념 측정원리 기반의 검광자 회전형 분광타원계측기 개발
- 10 마이크론 급의 초박형 기관 다이싱 및 레이저 초미세공정 원천기술 개발

하전입자 측정장비 요소기술 분야
- 전자현미경 제작 및 성능 개선
- TEM 홀더의 고온 측정 가열장치 및 개발 및 개선작업
- FE-SEM 기반 UHV SEMPA 시스템 설계 및 제작
- 세계 최고 수준의 RGA 시스템 성능 도달 및 기술이전

탐침 측정장비 요

Abstract ▼

1. Development of advanced instruments for optical measurements
○ Design of measuring tower for large aspheric polishing, development of point diffraction interferometer, and improvement of direct laser lithography with enhanced resolution
○ Development of core measurement modules for optical

목차 Contents

  • 제출문 ... 4
  • 보고서 요약서 ... 6
  • 요약문 ... 8
  • SUMMARY ... 12
  • CONTENTS ... 16
  • 목 차 ... 17
  • 제 1 장 연구개발 과제의 개요 ... 18
  • 제 2 장 광학 측정장비 요소기술 개발 ... 20
  • 제 1 절 대구경 비구면 광학거울 측정기술 개발 ... 20
  • 1. 서 론 ... 20
  • 2. 대구경 비구면 형상측정용 요소기술 개발 ... 21
  • 3. 결 론 ... 33
  • 제 2 절 나노 패턴 광측정 요소기술 개발 ... 34
  • 1. 서론 ... 34
  • 2. 광소자 회전형 타원계측기 측정법 ... 35
  • 3. 광세기 파형에 대한 새로운 푸리에 분석법 ... 38
  • 4. 검광자 회전형 분광 타원계측기 개발 ... 41
  • 5. 결론 ... 44
  • 제 3 절 펨토초레이저 기반 초박형 기판 공정기술 개발 ... 46
  • 1. 서론 ... 46
  • 2. wafer 공정환경이 강도에 미치는 영향 및 향상기술 개발 ... 48
  • 3. 초박형 thin-film 공정용 초고속레이저 rail-roading 기술 개발 ... 54
  • 4. 결론 ... 62
  • 참고문헌 ... 63
  • 제 3 장 하전입자 측정장비 요소기술 개발 ... 65
  • 제 1 절 전자광학 요소기술 개발 ... 65
  • 1. FE-SEM개발 ... 65
  • 2. 전자광학렌즈 설계 및 자기장 분포해석 ... 72
  • 3. TEM 배율 조정 및 이미지 센서 진공 챔버 제작 실험 ... 76
  • 4. 박막 트랜지스터를 이용한 전자빔 영상감지 센서 어레이의 설계 및 제작 ... 82
  • 제 2 절 정밀 시편이동 요소기술 개발 ... 89
  • 1. 서론 ... 89
  • 2. 실험방법 ... 89
  • 3. 결론 ... 90
  • 4. 토론 및 향후 연구방향 ... 101
  • 제 3 절 SEMPA 개발 및 TR-MOKE를 이용한 스핀동력학 측정기술 개발 ... 103
  • 1. Fe-SEM을 이용한 SEMPA 설계 ... 103
  • 2. W-filament type SEMPA를 이용한 magnetic doamin 연구 ... 113
  • 3. 시간분해 MOKE를 이용한 강자성 동역학 연구 ... 116
  • 4. 시간분해 테라헤르츠 분광 ... 121
  • 제 4 절 이온광학 요소기술 개발 ... 125
  • 1. 서론 ... 125
  • 2. Residual gas analyzer(RGA) system 기술향상 연구 ... 125
  • 3. Nier 이온원의 이온에너지분포 측정 ... 129
  • 4. 이온현미경 요소기술 개발 ... 135
  • 제 4 장 탐침 측정장비 요소기술 개발 ... 141
  • 제 1 절 AFM in SEM 개발 ... 141
  • 1. 서론 ... 141
  • 2. 이론 ... 143
  • 3. 실험 ... 147
  • 4. 실험결과 ... 154
  • 5. 결론 및 향후 계획 ... 158
  • 제 2 절 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발 (A) ... 159
  • 1. 연구의 목표 ... 159
  • 2. 연구내용 ... 159
  • 3. 연구결과 ... 161
  • 4. 차년도 연구계획 ... 171
  • 제 3 절 분광 이미징 핵심요소기술 개발 ... 172
  • 1. 연구의 개요 ... 172
  • 2. 스캐너 시스템 ... 174
  • 3. 연구결과 및 향후 연구계획 ... 186
  • 제 4 절 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발 (B) ... 187
  • 1. 연구의 목적 ... 187
  • 2. 연구 내용 ... 188
  • 3. 연구 결과 ... 189
  • 4. 향후 계획 ... 198
  • 참고문헌 ... 199
  • 제 5 장 결론 ... 200
  • 끝페이지 ... 202

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참고문헌 (25)

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