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    따른 핵심전략기술 관련 연구개발과제를 수행한 경우
3. 법 제21조제2항에 따라 보안과제로 분류된 연구개발과제를 수행한 경우
4. 연구개발기관의 장이 해당 연구개발성과에 대하여 지식재산권을 취득
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보고서 상세정보

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첨단측정장비 핵심요소기술 개발

Development of Core Technology for Advanced Instruments

보고서상세정보
과제명 첨단측정장비 핵심요소기술개발(일반)
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2010-10
과제시작년도 2010
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 기초기술연구회
등록번호 TRKO201100004072
과제고유번호 1345136076
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 우주광학,타원계측,다이싱,전자광학,이온광학,자성현미경,원자현미경space optics,ellipsometry,dicing,electron optics,ion optics,SEMPA,AFM
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201100004072
초록
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광학 측정장비 요소기술 분야
- 직경 2m 형상측정탑 설계, 간섭계 개발
- 신개념 측정원리 기반의 검광자 회전형 분광타원계측기 개발
- 10 마이크론 급의 초박형 기관 다이싱 및 레이저 초미세공정 원천기술 개발...

Abstract
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1. Development of advanced instruments for optical measurements
○ Design of measuring tower for large aspheric polishing, devel...

목차
Contents
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참고문헌

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