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초정밀 저가격 웨이퍼 절단을 위한 다이아몬드 Coated 와이어 및 MWS(Multi Wire Saw)장비 핵심부품 개발
Develope of diamond coated wire 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 일진다이아몬드
연구책임자 류민호
참여연구자 이형윤 , 이승운 , 박희섭 , 권대환 , 한진희 , 박기표 , 문환균 , 정용화 , 최동익 , 이상용 , 이석일 , 최진욱 , 윤천용
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-03
과제시작연도 2010
주관부처 지식경제부
사업 관리 기관 지식경제부
등록번호 TRKO201100007509
과제고유번호 1415112807
사업명 광역경제권선도산업육성
DB 구축일자 2013-04-18

초록

$\circ$ 주관_일진다이아몬드(주)
- 실리콘 절단용 150${{\mu}m}$ 다이아몬드 coated 와이어개발
- 사파이어 절단용 250${{\mu}m}$ 다이아몬드 coated와이어개발
$\circ$ 참여_(주)글로실
- 고속 회전 용 스핀들 개발
- 선속도 1300m/min 이상의 와이어 이송이 가능한 와이어 이송 시스템
- 중앙 컨트롤러 개발
$\circ$ 참여_KAIST
- 복합도

목차 Contents

  • (초정밀 저가격 웨이퍼 절단을 위한 다이아몬드 Coated 와이어 및 MWS(Multi Wire Saw) 장비 핵심부품 개발) 2차년도 연차보고서 요약...1
  • (충청) 광역경제권 선도산업 육성사업 기술개발 2차년도 연차보고서...5
  • 목 차...6
  • I. 2차년도 과제 수행결과...7
  • 1. 사업개요...7
  • 1-1. 중요성 및 필요성...7
  • 1-2. 최종목표...10
  • 1-3. 연차별 목표 및 세부내용...11
  • 1-4. 기술개발 제품 세부내용...12
  • 2. 사업 추진실적...19
  • 2-1. 추진방법 및 일정...19
  • 2-2. 사업 목표대비 달성 세부내용...23
  • 3. 사업 추진체계...31
  • 3-1. 수행기관별 역할분담...31
  • 3-2. 총괄책임자 및 참여인력 현황...48
  • 4. 사업비 사용실적...52
  • 4-1. 총괄...52
  • 4-2. 세부내용...52
  • 4-3. 시설ㆍ장비, 연구기자재, 재료 구입현황 및 활용실적...53
  • (별첨) 참여연구원 변경사항 (2차년도 협약서와 연차보고서 상의 변경내용)...55
  • (별첨) 기업 재무건전성 현황...56

표/그림 (15)

참고문헌 (25)

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