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보고서 상세정보

RGB 센서를 활용한 반도체 플라즈마 에칭공정 진단기술

과제명 RGB 센서를 활용한 반도체 플라즈마 에칭공정 진단기술
주관연구기관 명지대학교
MyongJi University
연구책임자 홍상진
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2008-06
과제시작년도 2007
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201100008447
과제고유번호 1425046881
사업명 산학연 공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18
연구과제
타임라인
과제명
RGB 센서를 활용한 반도체 플라즈마 에칭공정 진단기술
과제기간
2007
총연구비 ...
초록

1. 최종목표
RGB 모니터링 기술을 반도체 플라즈마 공정 모니터링에 적용하여 원천기술을 확보
플라즈마의 변이를 야기 시키는 반응 개스, 압력, RF power의 변화에 따른 색감도의 변화를 플라즈마 상태적 표현으로 정...

목차
Contents