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RGB 센서를 활용한 반도체 플라즈마 에칭공정 진단기술 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 명지대학교
MyongJi University
연구책임자 홍상진
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2008-06
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201100008447
과제고유번호 1425046881
사업명 산학연 공동기술개발
DB 구축일자 2013-04-18

초록 ▼

1. 최종목표
RGB 모니터링 기술을 반도체 플라즈마 공정 모니터링에 적용하여 원천기술을 확보
플라즈마의 변이를 야기 시키는 반응 개스, 압력, RF power의 변화에 따른 색감도의 변화를 플라즈마 상태적 표현으로 정의
RGB 색감도의 변화를 정량화하고, 플라즈마의 물리적, 화학적인 특성을 연동하여 새로운 개념의 플라즈마 진단 센서로 활용
2. 개발내용 및 결과
RGB 센서의 유용성 검증
RGB 센서를 통한 플라즈마 진단기술 개발
RGB 센서를 이용한 고급 공정기술 개발
3.

목차 Contents

  • 3. 과제별 세부 집행내역(과제별 작성)...1
  • I. 조성 금액...1
  • II. 과제개발비 집행내역...1
  • 개발결과의견서...5
  • 최종보고요약서(초록)...6
  • 목차...7
  • 제 1 장 서론...8
  • 제 1 절 반도체 플라즈마 공정 모니터링...8
  • 제 2 절 반도체 플라즈마 공정 모니터링기술의 필요성...13
  • 제 3 절 국내외 관련 기술 현황 및 사장규모...19
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...23
  • 제 1 절 RGB 센서의 유용성 검증...23
  • 제 2 절 RGB 센서를 통한 플라즈마 진단기술 개발...27
  • 제 3 장 사업성과...29
  • 제 1 절 기술적 성과...29
  • 제 2 절 경제적 성과...29
  • 제 3 절 활용방안 (사업화 방안)...30

참고문헌 (25)

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