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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충북대학교 Chungbuk National University |
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연구책임자 | 김옥현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201100012186 |
과제고유번호 | 1425059188 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
본 과제는 현재 수입 및 해외기술의존도가 높은 진공장비의 핵심부품인 Magnetic seal의 국산화 개발과 Magnetic seal의 성능 평가를 위한 성능시험장치 개발을 목표로 한다. 특히 차세대 진공장비를 위한 대형 Magnetic seal 개발과 성능평가에 중점을 둔다.
2. 개발내용 및 결과
□ 기초연구
-FEM을 이용한 Magnetic seal의 자기장 해석
-진공챔버에 장착시 Magnetic seal의 열전달 해석
-Magnetic seal의 기밀능력 이론예측 연구
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