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보고서 상세정보

상압 플라즈마 공정진단장치의 개발(APP-OES

과제명 상압플라즈마 공정진단장치의 개발(APP-OES)
주관연구기관 명지대학교
MyongJi University
연구책임자 홍상진
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2009-12
과제시작년도 2008
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201100012866
과제고유번호 1425052622
사업명 산학연공동기술개발
DB 구축일자 2015-01-08
초록

1. 최종목표
상압 플라즈마 OES 센서(APP-OES)와 스펙트로미터를 이용한 분광분석 데이터 처리 모듈을 개발하여 상압 증착공정의 이상유무의 진단에 적용
2. 개발내용 및 결과
● 상압 플라즈마 발생장치를 구현하고...