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고기능 세라믹히터의 열충격 내구신뢰성 평가에 의한 발열체 및 세라믹 구조의 최적화에 관한 신뢰성향상 지원

보고서 정보
주관연구기관 (주)세라트론
연구책임자 박현철
참여연구자 이도영 , 한성훈 , 김희택 , 장인형 , 이명철
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2005-06
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200003707
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 세라믹히터.텅스텐.몰리브덴.로드형 히터.발열체.

초록

1) 기술적 효과
- 저항온도계수 제어가 가능한 Paste 조성 설계 기술 확보
- 반복내구시험 등을 통해 신뢰성 향상 평가 기술 확보
- 고정밀 패턴 설계 기술 확보
- Rod/실린더타입 제반 기술 확보
- 특허 출원 2건
(10 2005-0052150, 라운드형 세라믹 히터 및 그 제조방법 ; 10 2005-0052776, 세라믹 히터)
2) 경제적 효과
- UL 해외인증 획득으로 안전성보장의 의미가 부가되어 세라믹히터의 이미지가 높아짐.
- 신뢰성 향상을 위한 패턴 설계 변경 및

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 중소기업신뢰성향상지원사업 보고서 초록 ... 3
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 서 론 ... 7
  • 제 2 장 본 론 ... 8
  • 제 1 절 세라믹 히터의 개요 ... 8
  • 1. 세라믹히터의 구조 ... 8
  • 2. Process ... 8
  • 가. Slurry 제조 ... 8
  • 나. Tape Casting ... 10
  • 다. 세라믹 히터 제작 공정 ... 11
  • 라. Sintering ... 11
  • 마. Brazing ... 11
  • 바. 신뢰성 평가 ... 11
  • 제 2 절 선진사 제품 분석 ... 14
  • 1. 판형(Plate type) heater ... 14
  • 가. 저항발열체 패턴 ... 14
  • 나. 판형 히터의 특성 ... 15
  • 2. Rod type heater ... 15
  • 가. 저항발열체 패턴 분석 ... 15
  • 나. Rod type heater의 특성 ... 19
  • 제 3 절 고장분석 및 고장 Mechanism ... 19
  • 1. Failure Mode ... 19
  • 2. Failure Analysis ... 19
  • 가. OPEN 불량 ... 19
  • 나. 인장강도 불량 ... 23
  • 다. Crack ... 26
  • 라. Brazing 산화 ... 27
  • 마. Rod type heater 불량 ... 30
  • 제 4 절 고기능 세라믹 히터 제작 ... 30
  • 1. Plate type heater ... 30
  • 가. 세라믹 구조 설계 ... 30
  • 나. 저항발열체 설계 ... 32
  • 1) Paste 제조 및 분석 ... 32
  • 2) 저항발열체 패턴 ... 32
  • 다. 특성 비교 ... 32
  • 2. Rod type heater ... 34
  • 가. Core 제작 및 테스트 ... 35
  • 1) Core 제작 ... 35
  • 2) Sheet Rolling 테스트 ... 35
  • 제 5 절 신뢰성 테스트 ... 37
  • 1. 신뢰성 테스트 방법 ... 37
  • 2. 가속수명시험 ... 38
  • 제 3 장 결 론 ... 40
  • 제 4 장 사업목표 달성도 및 기대효과 ... 42
  • 제 1 절 사업목표 달성도 ... 42
  • 제 2 절 성과 및 기대효과 ... 43
  • 참고문헌 ... 44

참고문헌 (25)

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