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고기능 반도체용 Susceptor 제조를 위한 알루미늄 고상접합기술 지원 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생상기술연구원
연구책임자 신승용
참여연구자 김용환 , 선주현
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2008-04
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200003932
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 확산접합.주조.반도체.메탈 히터.열전도율.Diffusion brazing.Casting.Semiconductor.Metal Heating Unit.Thermal conductivity.

초록

- 고상확산 접합기술을 확보하기 위하여 온도, 시간, 압력에 따른 접합조건 최적화 실험을 수행하여 접합인자를 최적화 하였음.
- 메탈히터 접합체의 접합부 Erosion, 조직관찰, 강도측정, 경도측정 방법, 열전도도 측정 및 초음파 스캔을 이용한 접합율 측정방법 등의 기준을 정립하였으며 신제품 적용시 비교 테스트할 수 있는 Data를 확보.
- 접합지그설계 기술 및 접합 시 메탈히터의 급격한 소성변형을 막을 수 있는 접합지그의 설계기술 확보하였음.
- 접합조건 최적화를 통한 대형 메탈히터 시제품 제작기술 지원 - 대

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 전문기업기술지원사업 기술지원성과보고서 ... 2
  • 기술지원성과 요약서 ... 3
  • 기술지원성과 요약문 ... 4
  • 목차 ... 16
  • 제1장 사업의 개요 ... 18
  • 제1절 기술지원의 필요성 ... 18
  • 제2절 기술지원 목표 ... 20
  • 제3절 기술지원 내용 ... 21
  • 제2장 국내외 기술현황 ... 22
  • 제3장 기술지원 수행 내용 및 결과 ... 23
  • 제1절 기술지원 수행 ... 23
  • 1. 고상확산 접합기술 지원 ... 23
  • 가. 확산 접합법 ... 23
  • (1) 고상확산 접합기술 ... 24
  • (2) 알루미늄 합금의 고상확산 접합기술 ... 25
  • 나. 알루미늄 주조재(AC4C)와 Al6061 합금의 고상확산 접합기술지원 ... 27
  • (1) 접합부 및 접합지그 설계 ... 27
  • (가) 접합부 설계 ... 27
  • (나) 접합지그설계 ... 30
  • (2) Al AC4C 주조재 / Al 6061 가공재 고상확산 접합 ... 30
  • (가) 고상확산 접합 ... 30
  • (나) 모재 Erosion ... 34
  • (다) 접합부 조직관찰 ... 35
  • (라) 접합강도측정 ... 40
  • (마) 접하부 경도측정 ... 43
  • (바) 열전도율 측정 ... 44
  • (사) 접합율 측정 ... 47
  • 2. 시제품 제작 및 신뢰성 평가기술지원 ... 49
  • 가. 시제품 제작기술지원 ... 49
  • 나. 신뢰성 평가기술지원 ... 52
  • (가) 실험 방법 ... 52
  • (나) 실험결과 ... 53
  • 제 2절 기술지원 성과 ... 56
  • 1. 기술지원 성과 ... 56
  • 2. 추진일정 대비 일정분석 ... 57
  • 3. 수행방법 및 기자재 활용 분석 ... 58
  • 가. 기술지원의 수행방법 ... 58
  • (1) 기업 현장방분 기술지원 ... 58
  • (2) 지원 연구기관내에서의 기술지원 ... 58
  • 나. 기자재 활용 분석 ... 58
  • 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 59
  • 제 1절 기술지원 목표달성도 ... 59
  • 1. 사업계획서 상의 목표 및 달성내용 ... 59
  • 가. 알루미늄 주조재(AC4C)와 Al6061 합금의 접합기술 지원 ... 59
  • 나. 기초 물성평가 기술지원 ... 59
  • 다. 시제품 제작 및 평가기술 지원 ... 60
  • 제5장 기술지원 결과의 활용계측 ... 61

참고문헌 (25)

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