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보고서 상세정보

반도체 장비용 AIN 히터의 제조기술 지원

주관연구기관 고등기술연구원
Institute for Advanced Englineering
연구책임자 홍현선
참여연구자 공만식, 이성규
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2007-08
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200004056
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 질화알루미늄.히트플레이트.정전척.분말.소결.가압소결.AIN.heater.ESC.powder.sintering.hot-pressing.
초록

1. 소결용 AIN 히터 국산화지원
- 수입부품소재 분석 : 성분분석(EDS), 조직분석(SEM, OM 등), 국내외 특허분석 및 논문자료 분석
- 제품 국산화를 위한 Reverse Engineering, 기계적 성질 자료...