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보고서 상세정보
반도체 장비용 AIN 히터의 제조기술 지원
| 주관연구기관 |
고등기술연구원 Institute for Advanced Englineering |
|---|---|
| 연구책임자 | 홍현선 |
| 참여연구자 | 공만식, 이성규 |
| 보고서유형 | 최종보고서 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 2007-08 |
| 주관부처 | 산업자원부 |
| 사업 관리 기관 |
산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
| 등록번호 | TRKO201200004056 |
| DB 구축일자 | 2013-05-20 |
| 키워드 | 질화알루미늄.히트플레이트.정전척.분말.소결.가압소결.AIN.heater.ESC.powder.sintering.hot-pressing. |
초록
1. 소결용 AIN 히터 국산화지원
- 수입부품소재 분석 : 성분분석(EDS), 조직분석(SEM, OM 등), 국내외 특허분석 및 논문자료 분석
- 제품 국산화를 위한 Reverse Engineering, 기계적 성질 자료...
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