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반도체 장비용 AIN 히터의 제조기술 지원 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 고등기술연구원
Institute for Advanced Englineering
연구책임자 홍현선
참여연구자 공만식 , 이성규
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-08
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200004056
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 질화알루미늄.히트플레이트.정전척.분말.소결.가압소결.AIN.heater.ESC.powder.sintering.hot-pressing.

초록

1. 소결용 AIN 히터 국산화지원
- 수입부품소재 분석 : 성분분석(EDS), 조직분석(SEM, OM 등), 국내외 특허분석 및 논문자료 분석
- 제품 국산화를 위한 Reverse Engineering, 기계적 성질 자료 확보(경도, 밀도 등)
- 개발 목표 정량화를 위한 성능목표 5개 도출
2. 소결공정 최적화
- 소결 전처리 공정 최적화 : Ball-milling 법 확립, Ball ratio, rpm 최적화, 원료분말 제조기술 확립
- 최적 소결법 확립
- Hot press 총 10 회

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 전문기업기술지원사업 기술지원성과보고서 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 기술지원성과 요약서 ... 4
  • 기술지원성과 요약문 ... 5
  • 목차 ... 14
  • 제 1 장 사업의 개요 ... 15
  • 제 1 절 기술지원 필요성 ... 15
  • 제 2 절 기술지원 목표 ... 15
  • 제 3 절 기술지원 내용 ... 15
  • 1. 소결 전처리공정 최적화 ; 원료분말제조 ... 17
  • 2. 최적 소결법 확립 ... 17
  • 3. 소결 조제의 종류 및 AIN 소결체의 물성에 미치는 효과 ... 17
  • 4. 소결 분위기와 AIN 소결체의 물성 사이의 상관관계 ... 22
  • 5. Hot Press 조건의 최적화 ... 22
  • 6. 소결의 일반론 [15] ... 24
  • 7. 시제품 물성 평가 기술 확보 ... 39
  • 제 2 장 국내외 기술현황 ... 41
  • 제 1 절 세계적 수준 ... 41
  • 제 2 절 국내 수준 ... 42
  • 제 3 절 국내ㆍ외의 연구현황 ... 42
  • 제 3 장 기술지원 수행 내용 및 결과 ... 43
  • 제 1 절 기술지원 수행 ... 43
  • 1. 계획된 기술지원의 달성 정도 ... 43
  • 2. 수행한 기술지원 내용 ... 44
  • 제 2 절 기술지원 성과 ... 100
  • 1. 기술지원 추진일정 준수여부 ... 100
  • 2. 수행주체별 담당내용 및 수행 실적 ... 101
  • 3. 기술지원에 따른 수행인력 및 연구 기자재의 활용 실적 ... 102
  • 제 4 장 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 104
  • 제 1 절 목표 달성도 ... 104
  • 1. 정량적 목표 달성도 ... 104
  • 2. 계획 목표 이외 추가 달성도 ... 104
  • 3. 정성적 목표 달성도 ... 105
  • 제 2 절 관련 분야에 기여도 ... 106
  • 1. 지원내용의 기업전략에의 기여도 ... 106
  • 2. 그 밖의 관련 분야에의 기여도 ... 106
  • 제 5 장 기술지원 결과의 활용계획 ... 107
  • 제 1 절 추가지원의 필요성 ... 107
  • 제 2 절 타 연구에의 응용 ... 107
  • 제 6 장 참고 문헌 ... 108

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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