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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항산업과학연구원 Research Institute of Industrial Science & Technology |
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연구책임자 | 안지훈 |
참여연구자 | 황순철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-07 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200005060 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
LCD 제조공정 및 반도체 제조공정에서 프로세스 챔버 내에 Glass 및 Wafer를 고정하기 위한 방법으로는 여러 가지가 있으나 최근에는 Glass와 Wafer의 대형화에 따라 이의 온도ㆍ압력 균일성 및 Particle 발생 방지 등이 요구되어 이 특성들을 만족하는 정전척이 주로 이용되고 있다.
하지만 LCD 제조공정 및 반도체 제조공정의 핵심부품인 정전척은 국내의 기술개발 미비로 인해 현재 일본의 TEL사, TOCALO사 등에서 전량 수입에 의존하고 있는 실정이다.
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