$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

고집적 Photoresist용 monomer제조 공정혁신 및 국산화 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)위즈켐
연구책임자 조양래
참여연구자 지기환 , 지제성 , 정선이 , 김병환 , 최덕인 , 박주연 , 이영민
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-08
과제시작연도 2008
주관부처 중소기업청
사업 관리 기관 중소기업기술정보진흥원
등록번호 TRKO201200005417
과제고유번호 1425051495
사업명 생산환경혁신기술개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 포토레지스트.아르곤플루오라이드.엑시머.레이저.단량체.

초록

1. 향 후 5년간 상품 수출효과 120억원, 신제품 시장창출 효과 20억원 기대
2. 향 후 5년간 원료 RNbC의 국산화로 수입 대체 16억원, 수출 6억원 기대
3. 향 후 5년간 고용창출 20인 (제조인력 12, 연구개발 8인) 효과
4. 회사 지명도 성장에 따른 추가제품 개발 공급기회 확보 효과
5. 설비투자로 제조능력 강화 및 인력 보강에 따른 추가 신제품 제조 경쟁력 강화효과
6. 개발과정 추가 개발된 중간 제품 NMC, HNBL의 상품화로 추가 매출 기대

목차 Contents

  • 중소기업기술개발지원사업 최종보고서 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 요약서(초록) ... 3
  • 목차 ... 4
  • 제1장 개발기술의 개요 ... 6
  • 1. 개발기술의 개요 ... 6
  • 제2장 개발목표 및 개발내용 ... 9
  • 제1절 기술개발 목표 ... 9
  • 1. 고집적 PR monomer 제조 원료 RNbC의 제조 신공정 개발 및 현장화 ... 9
  • 2. 중간체 HNbL의 고순도 분리 사용으로 수율 개선된 신공정 개발 및 현장화 ... 9
  • 제2절 세부 계획 및 개발내용 ... 9
  • 1. 고집적 PR 원료 RNbC 대체 원료 제조 신 공정개발 ... 9
  • 2. 중간체 HNbL의 고순도 분리 사용으로 개선된 신공정 개발 ... 12
  • 3. 개발 원료 MNC로부터 주요 중간체 HNbL의 고순도 제조 ... 15
  • 4. 개발 공정의 상업 현장화 Test ... 16
  • 5. 실험 및 Test 내용 ... 17
  • 1) 기존 공정 CANL 합성 결과 ... 17
  • 2) 기존 공정 crude HNbL로부터 정제 HNbL 제조 ... 19
  • 3) 정제 HNbL로부터 CANL 제조 ... 20
  • 4) DCpD (Dicyclopentadiene)로부터 Cp (Cyclopentadiene) 제조 ... 21
  • 5) Cp (Cyclopentadiene)로부터 MNC 제조 ... 22
  • 6) MNC로부터 정제 HNbL 제조 ... 23
  • 7) MNC로 제조한 HNbL사용 CANL제조 ... 24
  • 제3장 성과요약 및 기대효과 ... 26
  • 1. 개발 성과 ... 26
  • 1) 주원료 개선 ... 26
  • 2) 반응공정 개선 ... 26
  • 3) 정제공정 개선 ... 27
  • 4) 단위 생산량 개선 ... 27
  • 5) 단위 제조비용 개선 ... 27
  • 2. 개발 기술의 활용 및 기대 효과 ... 31
  • 1) 기술적 측면 ... 31
  • 2) 경제 • 산업적 측면 ... 33

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로