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[국가R&D연구보고서] Active Self Cleaning 기능을 가지는 Process Monitor용 초소형 Plasma Module 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)나노텍
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-12
과제시작연도 2008
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
연구관리전문기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201200006325
과제고유번호 1425050097
사업명 중소기업기술혁신개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 Plasma Sensor.Process Monitor.Plasma Module.Active Self Cleaning.Scanning Electron Microscope.

초록 ▼

1. 기술개발목표
Active Self Cleaning 기능을 가지는 Process Monitoring용 초소형 Plasma Module 개발 Process Monitor용 Plasma Sensor의 수요 확대에 따라, 기존의 Plasma Sensor의 핵심 부품인 Plasma Module의 오염 방지 기술이 요구되고 있는데, 이를 해결하기 위하여 Active Self Cleaning 기능을 가지는 초소형 Plasma Module을 개발한다.
2. 기술개발의 목적 및 중요성
반도체 산업의 경쟁이 치열해지면서 장비의

목차 Contents

  • 첨단장비활용 기술개발사업 최종보고서 ... 1
  • 표지 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 과제 요약서(초록) ... 4
  • 목차 ... 6
  • 제 1장. 개발과제의 개요 ... 7
  • 제 1절. 개발의 중요성 및 필요성 ... 7
  • 제 2절. 국내ㆍ외 관련기술 현황 및 특허동향 ... 11
  • 제 3절. 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 15
  • 제 2장. 개발의 목표 및 내용 ... 17
  • 제 1절. 기술개발의 최종목표 ... 17
  • 제 2절. 개발기술의 평가방법 및 평가항목 ... 17
  • 제 3절. 개발목표 및 기술의 특성 ... 18
  • 제 3장. 시장상황 ... 23
  • 제 1절. 국내ㆍ외 시장규모 및 수출입 현황 ... 23
  • 제 2절. 주요 수요처 및 유사 제품 현황 ... 23
  • 제 4장. 개발 추진전략 및 체계 ... 25
  • 제 1절. 개발 추진전략 ... 25
  • 제 2절. 개발 추진체계 ... 26
  • 제 3절. 개발팀 편성도 ... 27
  • 제 5장. 개발 결과 ... 28
  • 제 1절. 공동연구기관 개발내용 ... 28
  • 제 2절. 주관기업 연구개발 결과 ... 33
  • 제 3절. 최종 연구개발 결과 ... 49
  • 제 6장. 개발과제의 경쟁력 ... 51
  • 제 1절. 국내ㆍ외 경쟁사 제품과의 품질, 기술, 가격 비교 등 ... 51
  • 제 7장. 기대효과 ... 52
  • 제 1절. 경제적 예상효과 및 수출 가능성 ... 52
  • 제 2절. 성장성 및 기술파급 효과 등 ... 53
  • 제 8장. 사업화 추진계획 ... 54
  • 제 1절. 개발완료, 제품화시기 및 판매계획 ... 54

표/그림 (26)

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참고문헌 (25)

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