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반도체 공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발

과제명 반도체공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발
주관연구기관 (주)메카로닉스
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2011-11
과제시작년도 2010
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200006419
과제고유번호 1425064209
사업명 첨단연구장비활용사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 반도체.세라믹.히팅척.질화알루미늄.화학기상증착법.
연구과제
타임라인
▼
과제명
반도체공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발
과제기간
2009 ~ 2010
총연구비 ...
초록
▼

본 과제는 반도체 제조공정인 PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition), Photo PR Baking 및 Asher 장비의 chamber 내에서 사용되며, 웨이퍼(...

목차
Contents
▼

표 / 그림 (91)

참고문헌

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