$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

보고서 상세정보

반도체 공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발

과제명 반도체공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발
주관연구기관 (주)메카로닉스
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2011-11
과제시작년도 2010
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200006419
과제고유번호 1425064209
사업명 첨단연구장비활용사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 반도체.세라믹.히팅척.질화알루미늄.화학기상증착법.
초록

본 과제는 반도체 제조공정인 PVD(physical vapor deposition), CVD(chemical vapor deposition), Photo PR Baking 및 Asher 장비의 chamber 내에서 사용되며, 웨이퍼(...