초록 ▼

FPD 를 만드는 공장은 고청정도를 유지하는 대규모 클린룸이다. 현재 FPD용 Glass의 대형화와 생산량 증가에 따라 클린룸도 대형화가 되어 왔으며, 이로 인하여 클린룸 건축/시공 및 운전비용이 비약적으로 상승되어 왔다. 제조업체에 있어 클린룸 건축/시공비용이 초기 투자비에서 차지하는 비율이 커짐에 따라 이를 절감하고자 여러 방안을 검토하고 있으나, '청정도'와 '온도'라는 제조 환경에 있어 가장 중요한 요소를 유지한 채 클린룸 제조비용을 절감하는데 어려움이 있다. 또 대규모의 D/C과 A/F의 설치는 비용의 상승뿐만 아니라 FA

FPD 를 만드는 공장은 고청정도를 유지하는 대규모 클린룸이다. 현재 FPD용 Glass의 대형화와 생산량 증가에 따라 클린룸도 대형화가 되어 왔으며, 이로 인하여 클린룸 건축/시공 및 운전비용이 비약적으로 상승되어 왔다. 제조업체에 있어 클린룸 건축/시공비용이 초기 투자비에서 차지하는 비율이 커짐에 따라 이를 절감하고자 여러 방안을 검토하고 있으나, '청정도'와 '온도'라는 제조 환경에 있어 가장 중요한 요소를 유지한 채 클린룸 제조비용을 절감하는데 어려움이 있다. 또 대규모의 D/C과 A/F의 설치는 비용의 상승뿐만 아니라 FAB의 레이아웃 변경 및 용도 변경을 어렵게 한다. 현재 많은 수의 FPD제조 메이커들은 기존의 구형 FAB을 개조하여 새로운 생산라인으로 활용하고자 하고 있으나, 이러한 여러 가지 제약으로 인하여 제한적으로 변경하여 이용하고 있는 실정이다.
본 과제에서 개발하고자 하는 시스템은 클린룸 건축비용을 크게 줄일 수 있고 공간의 활용도가 높다. 따라서 기존의 오래된 FAB을 클린룸으로 개조 및 용도 변경이 용이하여, 생산 환경 변화에 따른 가변 운전이 가능하다. 또한 소규모 제조환경에도 적용이 가능하다. 따라서 본 과제가 성공적으로 수행되면, 클린룸 건설비 및 운영비의 절감으로 제조업체의 경쟁력을 향상시킬 뿐만 아니라, 변화하는 환경에 적절히 대응할 수 있을 것으로 예상된다.

목차 Contents

• 첨단장비활용 기술개발사업 최종보고서 ... 1
• 표지 ... 2
• 제출문 ... 3
• 과제 요약서(초록) ... 4
• 목차 ... 7
• 제 1장 개발 기술의 개요 ... 8
• 제 1절 개발의 중요성 및 필요성 ... 8
• 제 2절 클린룸 시스템별 기술조사 분석 ... 9
• 제 2장 독립순환형 FFU(CFU) 개발 ... 12
• 제 1절 기술 개발 목표 ... 12
• 제 2절 CFU 성능 시뮬레이션 ... 12
• 제 3절 CFU 1차 샘플 설계/제작 및 평가 ... 23
• 제 4절 CFU 개선 모델 설계/제작 및 평가 ... 29
• 제 5절 CFU 성능 시뮬레이션 (개선모델) ... 34
• 제 3장 유틸리티 배관 설계 및 최적화 ... 38
• 제 1절 Simulation 대상 Zone ... 38
• 제 2절 수배관 방식의 분류 ... 39
• 제 3절 순환방식 검토를 통한 실제 라인 모델링 ... 40
• 제 4절 유틸리티 배관 해석 결과 ... 42
• 제 4장 CFU 적용 Clean Booth 실험 ... 44
• 제 1절 실험용 Clean Booth 구성 ... 44
• 제 2절 Clean Booth 내 CFU 성능 실험 ... 45
• 제 6 장 성과 요약 및 기대효과 ... 51
• 제 1절 성과 요약 ... 51
• 제 2절 기대 효과 ... 52