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NTIS 바로가기주관연구기관 | 가천대학교 Gachon University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201200008766 |
과제고유번호 | 1425068232 |
사업명 | 산학연협력기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
1. 최종목표
기존에 사용하는 외산 전기 세포-기질 임피던스 측정용 전극에 비해 광투과도가 높아 다양한 광학적 세포 분석법과 호환이 용이할 뿐 아니라 도전체의 전기 전도성과 기판의 절연성이 우수하며 외부충격에 내구성이 있는 PC-ITO 기반의 전극칩 제작 및 평가
2. 개발내용 및 결과
∘ 기판, 전극, 절연층, 챔버 재료 선정
∘ 다중 전극회로 기판 및 챔버 구조 설계
∘ 재료를 고려한 제조 공정 설계
∘ 리쏘그라피용 마스크 제작
∘ PC 상에 ITO 증착 및 패터닝 공정
∘ 다중 전극
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