초록 ▼

< 1 단계 : ‘07. 3. 1 ~ ’10. 2. 28>
- 고분자/세라믹 재료 표면 개질 기술 개발
○ 생체 적합성 고분자 재료 제조기술 개발
- 다양한 고분자 재료(PS, PE, PTFE, PDMS 등)의 표면을 이온빔을 이용하여 개질한 후, 개질된 고분자 표면의 분자 구조, 표면 물성 및 표면 형태학 등을 분석하고 최종적으로 표면 개질된 재료의 생체적합성 향상 여부를 확인하였다.
○ 생체 적합성 고분자 재료 제조기술 개발
- 유리와 실리콘 웨이퍼 등의 세라믹 재료를 다양한 조건하에서 이온빔을 이용하

< 1 단계 : ‘07. 3. 1 ~ ’10. 2. 28>
- 고분자/세라믹 재료 표면 개질 기술 개발
○ 생체 적합성 고분자 재료 제조기술 개발
- 다양한 고분자 재료(PS, PE, PTFE, PDMS 등)의 표면을 이온빔을 이용하여 개질한 후, 개질된 고분자 표면의 분자 구조, 표면 물성 및 표면 형태학 등을 분석하고 최종적으로 표면 개질된 재료의 생체적합성 향상 여부를 확인하였다.
○ 생체 적합성 고분자 재료 제조기술 개발
- 유리와 실리콘 웨이퍼 등의 세라믹 재료를 다양한 조건하에서 이온빔을 이용하여 재료의 표면을 개질한 후, 개질된 재료 표면의 분자 구조 및 표면 물성을 접촉각 측정기와 X-선 광전자 분광 분석기를 이용하여 관찰하고 최종적으로 표면 개질된 재료의 생체적합성 향상 여부를 세포 흡착 실험을 통하여 확인하였다.
- 생체 분자 고정화 및 비특이성 흡착 방지 기술
○ 재료 표면에 생체분자 고정화 기술 개발
- 이온주입 및 이온주입 후 기능성 단량체(아크릴산)의 그라프트 중합을 통해 다양한 고분자 재료(PC, PVC, PCL, PET, PVDF, PTFE, PE 등)들의 표면에 기능성 관능기들을 도입하여 개질한 후 이온주입에 의하여 개질된 재료 표면의 분자 구조, 표면 물성 및 표면 형태학 등은 적외선 분광분석(FT-IR), X-ray 광전자 분광분석(XPS), 접촉각 측정, 주사전자현미경(SEM) 등을 이용하여 분석하였다. 최종적으로 선택적으로 개질된 재료 위에 세포, DNA, 단백질 등과 같은 생체분자들의 고정화 및 패턴을 형성하였다.
○ 방사선 이용 생체분자 비특이성 흡착 방지 기술 개발
- 세포의 비특이성 흡착 방지용 재료로 사용되고 있는 플루로닉(Pluronic)과 폴리하이드록시스티렌(poly(p-hydroxy styrene)) 등의 재료를 실리콘 웨이퍼(Si-wafer)나 고분자 재료 위에 박막을 형성시킨 후에 다양한 조건하에서 이온 주입하여 비특이성 흡착 방지용 고분자 패턴을 형성하고 형성된 패턴의 표면 분자 구조, 표면 물성, 및 표면 형태학 등은 적외선 분광분석기(FT-IR), X-ray 광전자 분광 분석기(XPS), 접촉각 측정기(contact angle meter), 주사전자현미경(scanning electron microscope) 등을 이용하여 관찰하였다.
- 생체분자 패턴 형성 기술
○ 생체분자 패턴 형성기술 개발
- 선택적으로 이온주입 및 이온 주입 후 기능성 단량체(아크릴산)의 그라프트 중합을 통해 고분자 재료(PET, PTFE, FEP 등)들의 표면에 생체분자의 고정화를 위한 관능기(COOH 등) 패턴을 형성하였다. 이온주입에 의하여 개질된 재료 표면의 분자 구조, 표면 물성 및 표면 형태학 등은 적외선 분광분석(FT-IR), 접촉각 측정, 주사전자현미경(SEM) 등을 이용하여 관찰하였다. 최종적으로 선택적으로 개질된 재료 위에 세포, DNA, 단백질 등과 같은 생체분자를 고정화한 다음, 생체분자 패턴의 형성 여부를 형광 현미경, 공초점 레이저 현미경 등을 이용하여 확인하였다.
- 탄소나노튜브 표면 개질 기술
○ 탄소나노튜브 절단 기술 개발
- 탄소나노튜브를 30 중량%를 수용성 과산화수소($H_{2}O_{2}$) 혹은 증류수에 sonication에 의하여 분산시킨 후에 증류수에 분산된 탄소나노튜브의 경우 산소 혹은 오존을 포화시켰다. 이들 혼합액을 2.5 kGy/h 선량율로 30 ~ 120 kGy 까지 감마선 조사를 통해 절단하였다. 절단된 탄소나노튜브를 투과전자현미경(TEM)를 통해 탄소나노튜브가 절단 여부를 관찰하였고, 절단된 탄소나노튜브의 물성을 라만 분광분석기와 X선 회절분석기(XRD)를 통하여 분석하였다.
○ 고분자 그라프트된 탄소나노튜브 제조기술 개발
- 톨루엔(toluene), 디메틸포름아마이드(DMF) 등과 같은 용매에 단일벽(SWCNT) 혹은 다중벽 탄소나노튜브(MWCNT)와 스티렌(styrene), 아크릴산(acrylic acid)과 같은 단량체를 초음파 세척기를 이용하여 분산시킨 후 1 ~ 2.5kGy/h 선량율로 6 ~ 120 kGy 까지 방사선을 조사하여, 유기용매나 수용성 용매에 분산이 잘될 수 있는 고분자가 그라프트 된 탄소나노튜브를 제조하였으며, 제조된 탄소나노튜브의 물성을 열중량분석기(TGA), $^{1}수소$ 핵자기공명 분광분석기($^{1}H NMR$), 투과전자현미경(TEM) 등을 이용하여 분석하였다.
○ 생체 분자로 개질된 탄소나노튜브 제조기술 개발
- 다중벽 탄소나노튜브를 디메틸포름아마이드(DMF)를 용매로 한 10 vol%의 아크릴산 단량체 용액에 초음파 세척기를 이용하여 분산시킨 후 1 kGy/h 선량율로 10 kGy 까지 방사선을 조사하여 탄소나노튜브의 표면을 개질하였다. 개질된 탄소나노튜브 표면에 형성된 관능그룹(COOH)에 단백질과 DNA를 도입하여 생체분자로 개질된 탄소나노튜브를 제조하였다. 개질된 탄소나노튜브는 열중량분석기(TGA)와 라만 분광분석기를 이용하여 분석 하였고 생체분자가 도입된 탄소나노튜브는 형광현미경과 X-ray 광전자 분광분석(XPS)를 통해 분석하였다.
- 바이오센서 적용 가능성 평가
○ 생체분자 흡착 성능 평가
- 선택적 이온주입 및 이온 주입 후 기능성 단량체(아크릴산)의 그라프트 중합을 통해 다양한 플라스틱 기판 위에 생체분자를 고정화할 수 있는 관능기(functional group) 패턴을 형성시킨 후, 플라스틱 기판 위에 형성된 관능기 패턴에 탄저균(Anthrax toxin) 검출을 위한 특이 염기서열을 갖는 마커인 탐침DNA(p-DNA; probe DNA), 간암 검출을 위한 간암마커 검출항체(anti-AFP; anti-alpha-feto protein)를 고정화시켰다. 이후 탄저균 검출을 위하여 포획분자들의 패턴이 형성된 기판 위에 형광 표지된 탄저균 표적 DNA 분자 혹은 간암의 경우 간암마커인 항체를 농도별로 형광 검출을 통해 바이오센서 검출 감도를 평가하였다.
< 2 단계 : ‘10. 3. 1 ~ ’12. 2. 29>
- 방사선을 이용한 전자회로 패턴형성 및 전자소자 응용 기술 개발
○ 미세전자회로 패턴 형성 기술 및 전자소자 응용 기술 개발
- 금속 나노입자(Ag, Au) 또는 금속나노입자의 전구체($AgNO_{3}$, $HAuCl_{4}$)를 함유한 2종 이상의 고분자(PVP, Pluronic) 용액을 제조하여 실리콘 웨이퍼 위에 회전 도포를 통해 금속 나노입자 또는 금속 나노입자의 전구체를 함유한 400 nm 두께의 고분자 박막을 제조하였다. 제조된 박막에 전자빔과 이온빔을 선택적으로 조사한 후 현상을 통해 금속 나노입자를 함유한 고분자 패턴들을 형성시킨 후 고분자는 열처리를 통해 제거하여 금속 나노입자 패턴을 형성시켰다. 금속나노입자의 형성 여부는 자외선-가시광선 분광기(UV-Vis spectrophotometer)를 이용하여 분석하였고, 고분자 박막의 두께는 표면단차측정기를 활용하여 분석하였으며, 금속 나노입자들을 함유한 고분자 패턴 형성 여부, 열처리에 의한 패턴의 형태학적 변화, 금속 나노입자패턴의 형성 여부 및 패턴의 성분 등을 에너지 분산형 X-선 분광기(EDX)가 장착된 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 등을 이용하여 관찰하였다.
○ 미세전자회로 패턴 형성 재료 제조 기술 개발
- MWCNT의 분산성을 향상시키기 위해 방사선을 이용하여 MWCNT를 표면처리를 한 후, 2 wt% 표면처리된 CNT 원액(1 g)을 보습제(5 ~ 20 wt%), 계면활성제(1 ~ 5 wt%), 방부제 등의 첨가물과 혼합하여 2 wt% 분산도를 갖는 MWCNT 전도성 잉크를 제조하였다. 제조된 MWCNT 전도성 잉크를 이용한 다양한 기판들에 실제 잉크젯 프린팅을 통해 전도성 미세패턴을 형성하였다. 형성된 패턴의 전도도를 면저항 측정기를 이용하여 분석하였고, 제조된 잉크를 잉크젯 프린팅 전후의 MWCNT의 구조 및 MWCNT network 구조 분석을 주사전자현미경(SEM)과 투과전자현미경(TEM)를 이용하여 분석하였다.
○ 방사선 이용 고분자 기판 표면 특성 향상 기술 개발
- 다양한 고분자 기판(PI, PEN, PFA 등)들의 표면을 이온빔을 이용하여 개질하였고 개질된 고분자 기판 표면의 분자 구조, 표면 물성 및 표면 형태학 등은 적외선 분광기(FT-IR), X-ray 광전자 분광기(XPS), 접촉각 측정, 주사전자현미경(SEM), 원자간력 현미경(AFM), 등을 이용하여 분석하였다. 최종적으로 표면 개질된 고분자 기판들을 금속 박막과 접착 시킨 후 $90^{o}$ 박리시험을 통해 표면개질된 고분자 기판들의 접착성 향상 여부를 확인하였다.
- 방사선 이용 임프린트 리소그래피 소재 개발, 패턴 형성 기술 개발 및 나노바이오센서 활용 기술 개발
○ 방사선 이용 임프린트 리소그래피용 소재 개발 및 방사선 가교 기술 개발
- 임프린트 리소그래피용 나노복합소재를 제조하기 위해서 암실에서 우레탄 아크릴레이트 올리고머, 아크릴레이트 단량체, POSS 나노충진제, 그리고 광개시제들을 적절한 배합비로 반응기에 넣은 후, 실온에서 40분 동안 교반하여 제조하였다. 제조된 나노복합소재의 특성은 굴절률 측정기, 점도 측정기, 밀도 측정기들을 이용하여 분석하였다. 최종적으로 제조된 나노복합소재를 다양한 조건하에서 방사선 가교하였고 가교된 나노복합임프린트 소재의 특성들을 팽윤도 및 접촉각 측정, 만능시험분석기(UTM), 열중량분석기(TGA), 적외선분광기(FT-IR)들을 이용하여 분석하였다.
○ 방사선이용 리소그래피 소재 표면 처리기술 개발
- 기존의 열경화법을 통해 제조된 PDMS 리소그래피 소재를 20 ~ 200 kGy의 흡수선량 조건에서 전자빔 조사를 통해 개질하였고, 개질된 PDMS 시트의 특성을 팽윤도 및 접촉각 측정, 만능시험분석기(UTM), 열중량분석기(TGA), X선 광전자 분광기(XPS)들을 이용하여 분석하였다.
○ 실리콘 나노와이어 기반 나노바이오센서 제작 및 나노바이오센서의 신호증폭 기술 개발
- 전자빔 기반의 나노임프린트 리소그래피기술을 이용하여 단일선 실리콘 나노 와이어들과 나노바이오센서의 신호증폭을 위해 표면적이 넓은 다선 형태의 실리콘 나노와이어들을 제작한 후 양 전극을 증착시켜 FET(전기장효과트랜지스터) 기반의 전극 소자를 제작하여 전기적 측정 기반의 바이오센서를 제작하였다. 제작된 나노바이오센서들에 우울증의 근원으로 생각되어지는 Dopamine과 파킨스병의 유발물질로서 각광 받는 Gamma-Amino Butyric Acid(GABA) 표적물질들을 포획할 수 있는 각각의 포획분자들을 고정화한 후 농도별로 비표지 방식 검출을 통해 나노바이오센서 검출 감도를 평가하였다.
○ 초고감도 비표지 방식의 실리콘 나노와이어 기반 나노바이오센서 제작기술 개발
- 전자빔 기반의 나노임프린트 리소그래피 기술을 이용하여 다선 형태의 실리콘 나노와이어들을 제작한 후 양 전극을 증착시켜 FET(전기장효과트랜지스터) 기반의 전극 소자를 제작하여 전기적 측정 기반의 바이오센서를 제작하였다. 제작된 나노바이오센서에 MMP-2(전립선암)를 포획할 수 있는 포획분자들만을 고정화하거나 신호증폭을 위한 고정화된 포획분자들에 금 나노입자
-DNA 복합체를 형성시킨 후 농도별로 비표지 방식 검출을 통해 나노바이오 센서 검출 감도를 평가하였다.

Abstract ▼

< Step 1 : ‘07. 3. 1 ~ ’10. 2. 28>
- The development of the surface modification technique for the biocompatibility improvement of materials
○ The development of the fabrication technique of biocompatible polymeric materials
- The surfaces of various polymers (PS, PE, PTFE, PDMS, etc.) were

< Step 1 : ‘07. 3. 1 ~ ’10. 2. 28>
- The development of the surface modification technique for the biocompatibility improvement of materials
○ The development of the fabrication technique of biocompatible polymeric materials
- The surfaces of various polymers (PS, PE, PTFE, PDMS, etc.) were modified by ion implantation. The surface properties of the resulting polymers were investigated in terms of the chemical structure, wettability, surface morphology, etc. Finally, the biocompatibility of the surface-modified polymers was investigated by cell adhesion test.
○ The development of the fabrication technique of biocompatible ceramic materials
- The surfaces of ceramics such as glass and silicon wafer were modified by ion implantation. The surface properties of the resulting ceramics were characterized by water contact angle measurement, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), etc. Finally, the biocompatibility of the surface-modified ceramics was investigated by cell adhesion test.
- The biomolecule immobilization technique and the prevention technique for the biomolecule' s non-specific adhesion
○ The development of radiation-based techniques for the immobilization of biomolecule on the material surface
- The surfaces of the polymers (PC, PVC, PCL, PET, PVDF, PTFE, PE, etc.) were functionalized by ion beam-based techniques. The surface properties of surface-functionalized polymers were investigated by means of infrared spectroscopy (FT-IR), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), water contact angle measurement, scanning electron microscopy (SEM), etc. Finally, biomolecules such as cell, DNA, protein etc, were immobilized on the selectively-functionalized surface of the polymers.
○ The development of radiation-based techniques for the prevention of biomolecule' s non-specific adhesion
- The thin films of nonfouling materials such as Pluronic and poly(p-hydroxy styrene) were formed on the polymer and ceramic surfaces by spin-coating. The prepared thin films were selectively implanted by energetic ions under various conditions and then developed to generate the patterns. The formed patterns of the nonfouling materials on the surface were characterized by means of infrared spectroscopy (FT-IR), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), water contact angle measurement, scanning electron microscopy (SEM), etc. The nonfouling property of the formed patterns on the surface were examined by cell adhesion test.
- The biomolecule patterning technique
○ The development of biomolecule patterning technique by radiation
- The surfaces of the polymers (PET, FEP, PTFE, etc.) were selectively modified by ion implantation or ion beam-induced graft polymerization. The properties of the resulting polymers were investigated by means of infrared spectroscopy (FT-IR), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), water contact angle measurement, scanning electron microscopy (SEM), etc. Finally, biomolecules such as cell, DNA, protein etc, were immobilized on the functionalized regions of the polymer surfaces and observed by fluorescence and confocal microscopy.
- Radiation-based techniques for the surface modification of carbon nanotubes
○ The development of the radiation-induced technique for cutting of carbon nanotubes
- Carbon nanotubes were dispersed in 30 wt% hydrogen peroxide or distilled water by sonication and then the mixtures were purged with oxygen or ozone. The resulting mixtures were irradiated at various doses ranging from 20 to 120 kGy at 2.5 kGy/h. The cut carbon nanotubes were observed by transmission electron microscopy (TEM) to confirm the cutting of carbon nanotubes by radiation and the properties of the cut carbon nanotubes were analyzed by Raman and X-ray diffraction spectroscopy (XRD).
○ The development of the radiation grafting techniques for the fabrication of the polymer-grafted carbon nanotubes
- Single-walled or multi-walled carbon nanotubes were ultrasonically dispersed in styrene or acrylic acid solutions which were prepared in toluene or dimethyl formamide at various compositions. The prepared mixture solutions were irradiated by γ-rays at doses ranging from 6 to 120 kGy with a rate of 1 ~ 2.5 kGy/h. The dispersibility of the resulting polymer-grafted carbon nanotubes was examined in organic or aqueous solvents and their properties were investigated by $^{1}H$ NMR, Raman spectroscopy, transmission electron microscopy (TEM), and thermogravimetric analysis (TGA) techniques.
○ The development of the radiation grafting techniques for the fabrication of biomolecule-immobilized carbon nanotubes
- Multi-walled carbon nanotubes (MWNCTs) were ultrasonically dispersed in the 10 vol% acrylic acid solutions in dimethyl formamide (DMF) and then the resulting mixtures were irradiated by γ-rays at the dose of 10 kGy with a rate of kGy/h. The biomolecule such as protein and DNA were immobilized on the carboxyl acid groups of the surface-modified MWCNTs. The surface-modified MWCNTs were analyzed by Raman spectroscopy and thermogravimetric analysis (TGA) techniques and the biomolecule-immobilized MWCNTs were characterized by fluorescence microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
- The sensitivity evaluation of the biosensing platforms
○ The performance evaluation of biosensor platforms
- The surfaces of the polymer substrates were selectively functionalized by ion implantation or ion beam-induced graft polymerization. Afterwards, probe DNAs for Anthrax toxin or primary antibodies for anti-AFP were immobilized on the patterns of the functional groups on the substrate followed by hybridization with Red or Green fluorescence-labeled complimentary DNAs or secondary antibodies at various concentrations, respectively. Finally, the fluorescence intensity of the resulting patterns on the substrate with an concentration of complimentary DNAs or secondary antibodies was investigated.
< Step 2 : ‘10. 3. 1 ~ ’12. 2. 29>
- Development of electronic circuits patterning technology using radiation and its application to electronic devices
○ Patterning of microelectronic circuits and its application to electronic devices
- Pluronic or PVP polymer solutions containing metal nanoparticles (NPs) or metal NP precursors ($AgNO_{3}$ or $HAuCl_{4}$) were spincoated on well-cleaned silicon wafers. The polymer thin films containing metal NPs or their precusors were selectively irradiated by electron beam or ion beam, and subsequently developed with a proper solvent to generate the patterns. Finally, the resulting patterns were heat-treated to produce the patterns of metal nanopartilces. The formation of metal nanoparticles was analyzed using UV-VIS spectroscopy. The formed patterns were investigated by using a scanning electron microscope with an energy dispersive X-ray spectrometer.
○ The preparation of materials for microelectronic circuits
- To improve the dispersibility of multi-walled carbon nanotube (MWCNT), MWCNT suface was effectively modified by radiation. The aqueous 2 wt% conductive MWCNT ink was prepared by mixing the modified MWNCT with various additives such as surfactant (1 ~ 5 wt%), humidifier (5 ~ 20 wt%), binder, and so on. The condition for the formation of conductive patterns was optimized through practical inkjet printing on various substrates using the prepared ink. The conductivity of the resulting patterns was measured by using a sheet resistance measurement system and the structure and morphology of the resulting MWCNT patterns were observed by using SEM and TEM.
○ Improvement of surface characteristics of a polymer substrate by using radiation
- The surface of polymeric substrates such as PI, PEN, and PFA was modified by ion irradiation. The surface properties of the modified polymers were characterized using contact angle measurements, X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), and atomic force microscopy (AFM). Finally, the adhesive strength between the copper and polymer films was evaluated through a $90^{o}$ peel test.
- Development of materials for nanoimprint and soft lithography by radiation and pattern formation, and its application to nanobiosensor
○ Development of materials for nanoimprint and soft lithography and using radiation cross-linking technique
- To prepare the nancomposites for nanoimprint lithography, urethane acrylate oligomer, acrylate monomer, and photoinitiator were mixed with POSS derivatives as nanofillers at a proper mixing composition under the dark condition. The prepared nanocomposites were analyzed by using refractometer, viscometer, and specific gravity cup. Finally, the resultant nanocomposites were crosslinked by electron beam irradiation under the various conditions, and their properties were investigated in terms of swellability, wettability, compressive strength, and thermal stability.
○ Surface modification of soft lithography materials by radiation
- PDMS sheet prepared by the thermal curing method was modified by electron beam irradiation at various absorbed doses ranging from 20 to 200 kGy. The properties of the modified PDMS were characterized using swelling degree and contact angle measurements, universal testing machine (UTM), thermogravimetric analyzer (TGA), and X-ray photoelectron spectrometer (XPS).
○ Development of silicon nanowire-based nanobiosensors and technique for signal enhancement of nanobiosensors
- To enhance the signal of nanobiosensors, the monoline-type and the mutiple line-type of silicon nanowires with a large surface area were prepared by electron beam lithography-based nanoimprint lithography techniques. To fabricate the electrical signal-based nanobiosensors, the field effect transistor-based devices were prepared through the theraml deposition of the electrodes on the prepared silicon nanowires. Afterwards the capture molecules for dopamine related to melancholia and Gamma-Amino Butyric Acid (GABA) related to Parkinson' s disease were immobilized on the prepared silicon nanowire biosensors. Finally, the sensitivity of the resulting nanobiosensors was evaluated with various concentrations of target molecules.
○ Development of label free silicon nanowire-based nanobiosensors with ultrahigh sensitivity
- The mutiple line-type of silicon nanowire-based nanobiosensors were prepared by electron beam lithography-based nanoimprint lithography techniques. The capture molecules for MMP-2 were immobilized on the prepared silicon nanowire biosensors, and the DNA-gold nanoparticle complex was then introduced on the immobilized capture molecules to improve the sensitivity. Finally, the sensitivity of the resulting nanobiosensors was evaluated with various concentrations of target molecules.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 14
• CONTENTS ... 27
• 목 차 ... 31
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 34
• 제1절 연구개발의 필요성 ... 34
• 제2절 연구개발의 목적 및 범위 ... 37
• 1. 연구개발 최종목표 ... 37
• 2. 연구개발의 범위 ... 37
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 40
• 제1절 선진국 연구개발 동향 및 기술수준 ... 40
• 1. 기능성 표면 처리 기술 ... 40
• 2. 이온주입을 통한 표면개질 기술 ... 41
• 3. 탄소나노튜브 표면 개질에 의한 분산기술 ... 41
• 4. 미세전자회로 패턴 형성 및 전자소자 응용 기술 ... 43
• 5. 나노바이오센서 기술 ... 44
• 제2절 국내 연구개발 동향 및 선진국과의 기술격차 ... 46
• 1. 생체 적합성 박막 형성 및 패턴 형성 기술 ... 46
• 2. 탄소나노튜브 표면 개질에 의한 분산기술 ... 46
• 3. 미세전자회로 패턴 형성 및 전자소자 응용 기술 ... 48
• 4. 나노바이오센서 기술 ... 48
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 50
• 제1절 고분자/세라믹 재료 표면 개질 기술 개발 ... 50
• 1. 이온주입 기술을 이용한 고분자 재료의 생체적합성 향상 기술 개발 ... 50
• 2. 이온주입 기술을 이용한 세라믹 재료 (wafer, glass 등)의 생체적합성 향상 기술 개발 ... 62
• 제2절 생체 분자 고정화 및 패턴 형성과 비특이성 흡착 방지 기술 ... 66
• 1. 재료 표면에 생체 분자 고정화 및 패턴 형성 기술 개발 ... 66
• 2. 방사선 이용 생체분자 비특이성 흡착 방지 기술 개발 ... 86
• 제3절 탄소나노튜브 표면 개질 기술 ... 92
• 1. 방사선 조사에 의한 탄소나노튜브 cutting 기술 개발 및 물성 평가 ... 92
• 2. 고분자 그라프트된 탄소나노튜브 ... 95
• 3. 생체 분자로 개질된 그라프트된 탄소나노튜브 ... 100
• 제4절 바이오 센서 적용 가능성 평가 ... 103
• 1. 생체 분자 패턴 형성기술 개발 및 생체분자 흡착 성능 평가 ... 103
• 제5절 방사선을 이용한 전자회로 패턴 형성 및 전자 소자 응용 기술 개발 ... 118
• 1. 미세전자회로 패턴 형성 기술 ... 118
• 2. 미세전자회로용 패턴 형성 재료 제조 기술 ... 132
• 2. 고분자 기판 표면특성 향상 기술 ... 137
• 제6절 방사선 이용 임프린트 리소그래피 소재 개발, 패턴 형성 기술 개발 및 나노바이오센선 활용 기술 개발 ... 150
• 1. 임프린트 리소그래피용 소재 개발 및 방사선 가교 기술 ... 150
• 2. 리소그래피용 소재 표면 처리 기술 개발 ... 155
• 3. 방사선이용 나노와이어 기반 나노바이오센서 제작 기술 개발 ... 158
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에서의 기여도 ... 170
• 제1절 목표달성도 ... 170
• 1. 1차년도 연구목표 ... 170
• 2. 2차년도 연구목표 ... 171
• 3. 3차년도 연구목표 ... 172
• 4. 4차년도 연구목표 ... 174
• 5. 5차년도 연구목표 ... 177
• 제2절 관련분야에서의 기여도 ... 179
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 181
• 제6장 연구개발과제에서 수집한 해외과학기술정보 ... 183
• 제 7 장 연구시설.장비현황 ... 185
• 제 8 장 참고문헌 ... 186