초록 ▼

1. (최종년도, 당해년도) 목표
가. 인프라성격별 목표
(1) 장비구축 및 활용
○ 장비 구축을 위한 시설 마련
○ 설치된 장비를 이용한 각 세부기술 개발
○ 장비의 활용을 위한 운영세칙마련
(2) 인력양성
○ GM 관련 전문지식 인력양성
○ GM 핵심 전문인력 경력관리
○ GM 인력양성 프로그램 보급
(3) 표준활동
○ ISO 포함 국내외 관련 표준규격 및 절차서 DB화
○ 측정표준절차를 통한 장비운용 효율화
(4) 정보구축 및 제공
○ GM 관련 전문연

1. (최종년도, 당해년도) 목표
가. 인프라성격별 목표
(1) 장비구축 및 활용
○ 장비 구축을 위한 시설 마련
○ 설치된 장비를 이용한 각 세부기술 개발
○ 장비의 활용을 위한 운영세칙마련
(2) 인력양성
○ GM 관련 전문지식 인력양성
○ GM 핵심 전문인력 경력관리
○ GM 인력양성 프로그램 보급
(3) 표준활동
○ ISO 포함 국내외 관련 표준규격 및 절차서 DB화
○ 측정표준절차를 통한 장비운용 효율화
(4) 정보구축 및 제공
○ GM 관련 전문연구정보센터 구축 및 운영
○ 국내외 관련 기관과의 기술 교류 및 협력 네트워크 구축 및 홍보
(5) 보급확산
○ GM 사업과 관련된 다양한 컨텐츠 개발 및 보급 확산
○ GM 기술 관련 산학연 교류 및 협력의 Hub 역할 수행
나. 기술부문별 목표
(1) 고효율 저에너지 SF6 가스 분리 농축·공정 개발
○ 고효율 저에너지 SF6 가스 분리·농축 시스템 개발을 위한 핵심소재 및 단위공정 원천기술 개발
(2) 반도체 생산설비 폐수 저감 및 재활용 기술 개발
○ 폐수처리 핵심 소재개발
○ 전자폐수 처리기술
○ 폐수 재활용률
○ 고구배 자기분리 시스템을 이용한 반도체 폐수내 Cr, Cu, Co 등의 중금속 오염물질 선처리 기술 개발
○ CDI용 전극제작 및 이온제거
(3) 반도체·디스플레이 생산 시스템의 사용 절감을 위한 Smart 에너지 관리 기술 개발
○ Dry Etcher 장비에 특화된 에너지 사용량 측정 Sensor Network 설치 및 Embedded System 개발
○ 반도체·디스플레이 장비 에너지 사용량 측정 플랫폼 설계 및 구현
○ Middleware 및 데이터 수집시스템 개발
○반도체 디스플레이 데이터 전처리 기술 개발
○표준화 WorkGroup 구성 및 향후 개발 과제 도출
2. 당해 기반구축(기술개발) 목적 및 중요성
우리나라는 반도체 세계시장 점유율 40%, 디스플레이 세계시장 점유율 50%로 부동의 시장점유율 1위를 고수하고 있지만 국내 반도체·디스플레이 산업은 대체로 환경구제에 대한 대응 경험이 부족하고 관련 기술에 대한 표준화 및 특허가 선진국에 대하여 대단히 취약한 것으로 파악되고 있다.
또한, 반도체·디스플레이 생산에 관련된 장비 및 인프라는 중고시업에서 개발하는 경우가 많은데 이러한 중소기업들은 대기업에 비하여 특허 및 규제 대응력이 매우 취약하다.
이에 본 사업의 목적은 반도체·디스플레이 관련 녹색 생산기술을 연구할 수 있는 기반을 구축한다. 이러한 연구기반이 만들어질 경우 녹색생산관련 원천기술의 확보, 표준화 확대, 전문 인력의 양성이 가능하다. 무엇보다 대기업 및 중소기업이 함께 사업에 참여함으로써 수요기업에서 요구하는 미래기술을 앞당겨 현장에 적용해보고 경제적 가치를 평가해볼 수 있는 좋은 기회라고 사료된다.
3. 기반구축(기술개발) 내용 및 범위
가. 기술개발 및 장비구축
- 가스, 폐수, 에너지 등 녹색생산기술연구센터의 3가지 연구주제에 대한 연구기반 마련
- 디스플레이 제조시 발생하는 SF6 온실가스 농축, 분해, 처리, 회수기술개발 기반 조성
- 반도체 산업폐수의 처리, 재이용, 재자원화 기술개발 및 분석 인프라 지원
- 장비 및 설비 소모 에너지 최소화를 위한 친환경 IT 솔루션 확보
나. 기술의 표준화 및 산업화 연계
- 측정 표준절차서 마련
- KS 규격 제안
- 녹색생산기술 관련 제품 및 시스템 구축 및 field test 지원
- 생산 라인 투입을 통한 신뢰도 확보 테스트 지원
- 글로벌스타 중소기업육성을 위한 장비 및 기술개발 지원
- 대기업-중소기업 상생을 위한 기술 협력 지원
- 지적재산권 확보 및 기술이전
다. 녹색생산관련 고급전문인력 양성
- 기술개발 참여 산학연 연구자의 연구교류 지원 및 전문인력 양성
- 기존 인력의 재교육과 중장기 고급인력 양성을 위한 프로그램 추진
- 녹색생산기술 관련 전문 학제 교육과 산학연 협력 세부 전문 기반연구들을 중점 수행
- 인력사업과 고용의 연계성 강화 및 현장 전문 인력 재교육 프로그램 개발
라. 정보구축 및 보급확산
- 녹색생산기술 관련 최신기술동향, 전문연구정보, 전문 인력 DB 구축
- 구축된 장비, 인력 등 인프라 제공
- 인프라 사용확대를 위한 기술, 교육 등 서비스 제공
- 기술이전 등을 통한 신상업 창출 기반 마련
- 국내 기업체, 학교, 연구소 전문가들의 장단기 방문연구를 통한 산학연 협력 연구를 통한 정보 및 지식의 확산
- 기술교류회, 온라인 포럼 등을 통한 정보공유 및 확산
4. 기반구축(기술개발)의 성과
5. 활용방안 및 기대효과
가. 활용방안
○ 반도체·디스플레이 제조 공정에서 온실가스 및 환경오염물질을 최소화하고, 자원 재활용 및 에너지 효율을 극대화하기 위하여 친환경적·지속가능적인 공정을 설계, 시공 및 운영할 수 있는 기술개발 지원
○ 글로벌스타 중소기업육성을 위한 반도체·디스플레이 관련 생산 장비 및 기술 개발 지원
○ 반도체·디스플레이 제품 생산자로서의 대기업과 부품 및 관련 기술 공급자로서의 중소기업 간의 연결고리 강화를 통한 상호 공존을 유도
○ 녹색생산기술 관련 교과과정 개발 및 기존 현장 인력들을 위한 재교육 프로그램 실시를 통한 녹색생산 분야 고급 전문인력 양성
○ 구축된 인프라 장비 및 참여연구진이 보유한 시설과 인력 등을 이용하여 산업화를 위한 녹색생산기술의 시험평가 지원
나. 기대효과
○ 대한민국의 기간산업인 반도체 및 디스플레이 분야에서 저탄소 녹색 성장 실현
○ 기후변화 국제환경규제에 적극적이고 신속한 대응
○ 녹색생산 분야의 교육 및 연구 개발을 통한 석·박사 수준 이상의 전문 고급인력 양성
○ 폐가스 처리 비용 40% 절감
○ 산업페수 회수 및 재이용률 70% 이상
○ 방류수 생태독성 1.0TU 달성
○ 전기 에너지 총사용량 5% 이상 절감

목차 Contents

• 중간(연차) 보고서 제출서 ... 1
• 제출문 ... 2
• 요약서(초록) ... 3
• 목차 ... 7
• 제1장 서론 ... 10
• 제1절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 ... 12
• 1. 개요 ... 12
• 2. 사업의 성격 및 특징 ... 13
• 제2절 사업 최종목표 및 내용 ... 15
• 1. 사업목표 ... 15
• 2. 사업내용 ... 18
• 제3절 당해년도 기반구축 및 연구개발 목표 및 내용 ... 21
• 1. 당해년도 기반구축 목표 ... 21
• 2. 당해년도 기반구축 추진일정 및 세부내용 ... 22
• 3. 당해년도 연구개발 목표 ... 24
• 4. 당해년도 연구개발 추진일정 및 세부내용 ... 25
• 제4절 당해년도 사업변경 내용 ... 27
• 제2장 반도체·디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 ... 29
• 제1절 반도체·디스플레이 녹색생산기술 연구기반 인프라 구축 ... 29
• 1. 연구기반 장비 구축 ... 29
• 2. 표준화 연구 (한국표준과학연구원) ... 41
• 3. 인력양성 프로그램 ... 55
• 제2절 온실가스 감축을 위한 디스플레이 생산설비 SF6 농축 기술 개발 연구 실적 ... 65
• 1. 추진실적현황표 ... 65
• 2. 정량적 목표 ... 66
• 3. 과제 수행 현황표 ... 66
• 4. 현장 가스 측정 및 분석 ... 67
• 5. 전처리 설비 개발 ... 73
• 6. 분리막 기반 분리-농축 공정 개발 ... 83
• 7. 소형 시스템 개발 ... 113
• 8. SF6 분리용 흡착소재 개발 ... 123
• 제3절 반도체 생산설비 폐수저감 및 재활용 기술 개발 ... 129
• 1. 개발 배경 ... 129
• 2. 전처리 기술 ... 129
• 3. 플라즈마 방전에 의한 유기물 처리 기술 ... 132
• 4. 고구배자기분리에 의한 폐수 처리 기술 ... 137
• 5. 주처리 기술 ... 139
• 6. 후처리 기술 ... 162
• 제4절 반도체·디스플레이 녹색생산을 위한 에너지 절감기술 개발 ... 177
• 1. 서론 ... 177
• 2. 최종 개발 시스템 ... 178
• 3. 참여기관별 담당 분야 ... 178
• 4. 1차년도 정량적 목표 내역 ... 179
• 5. 1차년도 실적 ... 181
• 제5절 에너지 사용량 모니터링 시스템 개발 ... 181
• 1. 개요 ... 181
• 2. 당해년도 목표 ... 182
• 3. 주요 기능 설명 ... 182
• 4. 시스템 구성 ... 182
• 5. 시스템 설계 ... 183
• 6. 연구 개발 결과 ... 187
• 제6절 미들웨어 개발 ... 189
• 1. 개요 ... 189
• 2. 미들웨어의 역할 ... 189
• 3. 미들웨어 요구사항 ... 190
• 4. 미들웨어 설계 ... 190
• 5. 개발 결과 ... 192
• 제7절 에너지 절감을 위한 반도체/디스플레이 데이터 전처리 기술 개발 ... 193
• 1. 개요 ... 193
• 2. 당해년도 연구 목표 ... 193
• 3. 연구의 필요성 ... 193
• 4. 연구개발 내용 ... 194
• 5. 연구 결과 ... 194
• 제8절 반도체/디스플레이 장비 에너지 사용량 측정 플랫폼 기술 설계 및 구현 ... 199
• 1. 개요 ... 199
• 2. ZigBee SE Profile 개요 ... 200
• 3. 주요 요구사항 ... 202
• 4. 주요 규격 및 기능 ... 203
• 제9절 Dry Etcher 전력 사용량 모니터링 시스템 개발 ... 207
• 1. 추진 배경과 목적 ... 207
• 2. 주요내용 ... 207
• 3. 추진방법 ... 208
• 4. 에너지 사용량 모니터링 소프트웨어 개발 ... 213
• 5. 기대효과 및 활용 방안 ... 214
• 제10절 통합 테스트 환경 구성 ... 215
• 1. 개요 ... 215
• 2. 담당 역할 및 활용 방안 ... 215
• 3 . 통합 테스트 환경 구성 ... 216
• 4. 향후 계획 ... 218
• 제11절 반도체/디스플레이 장비별 에너지 사용량 조사(표준화) ... 219
• 1. 기업의 에너지 소비 개요 ... 219
• 2. 반도체/디스플레이 업종의 에너지 사용 특성 ... 228
• 3. 반도체/디스플레이 업종의 장비별 에너지 사용 현황 ... 236
• 4. 결론 ... 251
• 제3장 사업운영실적 ... 259
• 제1절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 성과현황 ... 259
• 1. 계량성과현황 ... 260
• 2. 비계량성과현황 ... 262
• 제2절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반구축 성과보급 및 홍보 ... 264
• 1. 성과의 보급 및 확산 ... 264
• 2. 공동연구 및 국제교류실적 ... 272
• 3. 홍보 및 대외활동 ... 274
• 제3절 반도체 디스플레이 녹색생산기술 연구기반 인프라 운영 ... 277
• 제4절 사업의 기대효과 및 향후 활용방안 ... 279
• 1. 사업의 기대효과 ... 279
• 2. 활용방안 ... 279
• 제5절 온실가스 감축을 위한 디스플레이 생산설비 SF6 농축 기술 개발 ... 280
• 1. 전처리 기술개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 280
• 2. 분리 농축용 고효율 혼성 시스템 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 281
• 제6절 반도체 생산설비 폐수저감 및 재활용 기술 개발 ... 284
• 1. 전처리 기술 ... 284
• 2. 주처리 기술 ... 298
• 3. 후처리 기술 ... 311
• 4. 제거율 ... 315
• 5. 열효율 ... 316
• 6. 결론 ... 319