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보고서 상세정보

초미세 레이저 가공 기술 개발 및 응용 연구

과제명 아시아 레이저 센터 운영 사업
주관연구기관 광주과학기술원
Gwangju Institute of Science and Technology
보고서유형 2단계보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2012-01
과제시작년도 2012
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201300021794
과제고유번호 1345195887
사업명 광주과학기술원연구운영비지원(0.5)
DB 구축일자 2013-09-14
키워드 레이저.레이저 가공.레이저 패터닝.펨토초.레이저 폴리싱.회절광학소자.laster.laser material processing.laser patterning.femtosecond.laser polishing.differaction optical element.
초록

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
□ 초미세 레이저 나노 가공 및 광원 개발
ㅇ서브미크론급 패터닝 기술 개발
ㅇ고반복률 펨토초 레이저를 이용한 그래핀 패터닝 기술 개발
ㅇ프리히팅 기술을 이용한 레이저 유리 연마 기술...

Abstract

We developed direct laser writing of lithography patterns with a feature width of submicron on thin photoresist film by a femtosec...