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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 송재성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-07 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 지식경제부 |
사업 관리 기관 | 한국기계연구원 부설 재료연구소 |
등록번호 | TRKO201300022838 |
과제고유번호 | 1415112197 |
사업명 | 지식경제프론티어기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 적층형 압전 액츄에이터.미러 틸트 시스템.스테이지. |
핵심기술
1. 저온소성 가능한 압전 소재 및 적층형 액츄에이터 공정 기술
2. 압전 액츄에이터 적용 광 틸트 마운트, 프로버 스테이지 기술
최종목표
초정밀 이송기기용 세라믹 액츄에이터 제작 및 응용기술 개발
- 고성능 압전 소재 및 공정 연구
- 고정밀 압전 액츄에이터 설계/제작
- 미세이동용 정밀 제어 구동부 개발
- 장범위 이송 유연 힌지 모듈 가이드 개발
- 나노 스테이지 가이드 설계 및 제작
- 스테이지 조작 메커니즘 개발 및 운용 기술 확보
목표 사양
1. 고
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