초록

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
1. 하전입자 측정장비 요소기술 분야
◦ 전자선의 전계방출실험 및 관련 부품의 독자 개발
◦ 이온원, 이온광학계 요소기술 개발 및 질량분석기 성능 향상
2. 나노형상 3차원 측정기술 분야
◦ 실시간 타원계측기 편광측정 모듈과 액침 편광측정기술 개발
◦ TFSEM/FESEM 기반 Cross-sectional AFM 개발
3. 나노자성 측정기술 분야
◦ 나노크기의 자성체 이미징 기술 개발
◦ Femto-scale 자성 동역학 이미징 측정기술 개발

Abstract ▼

Ⅲ. Contents and Scope
1. Development of advanced instruments using charged particle beams
◦ Development of shottky-type FE gun, control board, design tool, solid image sensor and inspection system for magnetic lens
◦ Development of ion gun, acceleration lens, Einzel lens, and RGA system for

Ⅲ. Contents and Scope
1. Development of advanced instruments using charged particle beams
◦ Development of shottky-type FE gun, control board, design tool, solid image sensor and inspection system for magnetic lens
◦ Development of ion gun, acceleration lens, Einzel lens, and RGA system for ion microscope
2. Development of nanoscale 3D measurement technology
◦ Development of realtime spectroscopic ellipsometry technology and ellipsometric biosensor based on silicon substrate
◦ Development of cross-sectional AFM based on tungsten filament SEM/field emission SEM
3. Development of nanoscale magnetic structure measurement technology
◦ Magnetic imaging technique in nano-scale
◦ Time resolved imaging technique for femto-scale magnetization dynamics

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 3
• 보고서 요약서 ... 5
• 요약문 ... 7
• SUMMARY ... 9
• CONTENTS ... 13
• 목차 ... 14
• 제 1 장 연구개발 과제의 개요 ... 15
• 제 2 장 하전입자 측정장비 요소기술 개발 ... 17
• 제 1 절 전자빔 광학 요소기술 개발 ... 17
• 제 2 절 이온광학 요소기술 개발 ... 84
• 참고문헌 ... 128
• 제 3 장 나노형상 3차원 측정기술 개발 ... 129
• 제 1 절 타원계측 요소기술 개발 ... 129
• 제 2 절 xAFM 개발 ... 170
• 참고문헌 ... 199
• 제 4 장 나노자성 이미징기술 개발 ... 201
• 제 1 절 FE-SEMPA 개발 ... 201
• 제 2 절 TR-MOKE 현미경을 이용한 스핀 동역학 연구 ... 223
• 제 5 장 결 론 ... 232
• [협동과제 1] 정밀 시편이동 요소기술 개발 ... 235
• [협동과제 2] 생분자분광 미세검출 요소기술 개발(A) ... 255
• [협동과제 3] 생분자 분광 요소기술 개발(B) ... 291
• [협동과제 4] 분광이미징 핵심요소기술 개발 ... 307