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보고서 상세정보

고속 나노입자빔을 이용한 나노오염물질 제거 기술

Removing nano contaminant particles using supersonic particle beam

과제명 고속 나노입자빔을 이용한 나노오염물질 제거 기술
주관연구기관 포항공과대학교
Pohang University of Science and Technology
연구책임자 이진원
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2013-06
과제시작년도 2012
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201300034678
과제고유번호 1345170586
DB 구축일자 2013-12-21
키워드 나노 오염물질,오염물질 제거,나노 입자,입자빔,마이크로 초음속 노즐,입자 충돌nano contamination,contamination control,nano particle,particle beam,micro supersonic nozzle,particle collision
초록

연구의 목적 및 내용
반도체/나노 산업에서 요구되는 오염입자제거 최고기준이 향후 2010년 20nm, 그리고 2015년 10nm 수준으로 낮아지게 된다. 본 연구에서는, 성공가능성을 보인 선행연구를 바탕으로, 기존기술들의 한계...

Abstract

Purpose&contents
Target of contamination control required in the semiconductor/nano industries is expected to change from 50nm...

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