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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 이진원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300034678 |
과제고유번호 | 1345170586 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 나노 오염물질,오염물질 제거,나노 입자,입자빔,마이크로 초음속 노즐,입자 충돌nano contamination,contamination control,nano particle,particle beam,micro supersonic nozzle,particle collision |
연구의 목적 및 내용
반도체/나노 산업에서 요구되는 오염입자제거 최고기준이 향후 2010년 20nm, 그리고 2015년 10nm 수준으로 낮아지게 된다. 본 연구에서는, 성공가능성을 보인 선행연구를 바탕으로, 기존기술들의 한계를 넘는 새로운 개념의 고속입자빔기술을 개발하여, 나노/마이크로 구조를 갖는 표면에 부착된 10nm 입자의 제거기술을 개발하고자 한다.
연구결과
본 연구를 통하여, 세계 최초이며 유일하게 10nm 오염입자의 완벽한 제거기술이 개발되었으며, 그 과정에서 다양한 기초/응용 결과들이 도출되었다.<
Purpose&contents
Target of contamination control required in the semiconductor/nano industries is expected to change from 50nm to 20nm in 2010 and 10nm in 2015. This study aims at developing a new supersonic particle beam technique to remove 10nm contaminant particles on surfaces with micro/nano
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