초록

2. 개발내용 및 결과
가) 새로운 part-division 디자인을 개발하고 이에 따른 효과를 입증
나) 마이크로 셔터의 소형화를 위한 새로운 공정 프로세스 개발
다) 어레이 공정 방법 확립 및 수율 확보
라) 어레이 구동을 위한 구동 회로 제안
마) 새로운 디자인의 정전구동 마이크로 셔터의 제안

Abstract ▼

Ⅳ. Results
During the 1^st year research, we proposed a new concept of curved beam microshutter display device called part-division design, and fabricated the device successfully. Although the part-division design is a very simple change of conventional device, it enables the microshutt

Ⅳ. Results
During the 1^st year research, we proposed a new concept of curved beam microshutter display device called part-division design, and fabricated the device successfully. Although the part-division design is a very simple change of conventional device, it enables the microshutters to solve chronicle light efficiency problem of curved beam microshutter. In 2^nd year, we established the fabrication process with high uniformity and yield, and demonstrated the array operation of the proposed microshutter. Also, to overcome disadvantage of thermal actuation method, we propsed a new design for electrostatically driven microshutter.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• HRHRP 연차보고서 초록 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• CONTENTS ... 6
• 목차 ... 7
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 8
• 1. 연구개발의 목적 ... 8
• 2. 연구개발의 필요성 ... 8
• 3. 연구개발의 범위 ... 9
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 10
• 1. MEMS 기반 투과형 디스플레이 소자 ... 10
• 2. MEMS 기반 반사형 디스플레이 소자 ... 11
• 3. MEMS 기반 투명형 디스플레이 소자 ... 12
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 13
• 1. 광효율이 뛰어난 새로운 마이크로 셔터 ... 13
• 2. 마이크로 셔터의 소형화를 위한 새로운 공정 프로세스 개발 ... 17
• 3. 마이크로 셔터의 어레이 제작 및 구동 ... 18
• 4. 새로운 디자인의 정전구동 마이크로 셔터 제안 ... 22
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 25
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 26
• 1. 추가 연구의 필요 ... 26
• 2. 타 연구에의 응용 ... 26
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 27
• 1. 투과형 디스플레이 소자 ... 27
• 2. 반사형 디스플레이 소자 ... 27
• 3. 투명형 디스플레이 소자 ... 27
• 제7장 참고문헌 ... 28
• 끝페이지 ... 30