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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 문승재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201400008603 |
과제고유번호 | 1345177189 |
사업명 | 기본연구지원사업(유형I) |
DB 구축일자 | 2014-05-31 |
본 연구는 AIC method 방식을 줄 가열 방법으로 비정질 실리콘을 결정질 실리콘으로 결정화를 수행이 목표였다. 1차년도의 세부적 사항 이였던 체계적인 문헌 조사와 정보 검색을 통한 연구 동향 분석 1, 전열법에서 전도저항의 열전달 해석을 위한 방정식 결정, 전열법을 이용한 레이저 결정화 실험, 상변화 과정의 분석, 연구 결과 정리 및 보고 1 의 사항을 훌륭하게 수행하였다. 비록 서울대학교 반도체 공동연구소에서 샘플 제작을 위한 공정 진행과정에서 차질을 빚어 공정이 늦어져 실험 결과도출에 차질이 있었지만 향후 계획과 차년도 과
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