초록 ▼

연구목표
ㅇ 나노스케일 이미징장비 및 분석장비의 기반요소기술을 개발하여 세계최고 수준의 나노스케일 측정/분석장비 창출기반을 마련하며, 기존 방법의 한계를 뛰어넘기 위한 핵심 나노측정 기술들을 연구개발하여 신구조 및 신물질 기반에 의한 혁신적 발전이 예상되는 차세대 나노기술에 대응하고,
ㅇ 반도체, 디스플레이, 나노, 바이오 등과 같은 국가전략 산업분야의 국가산업경쟁력을 지속적으로 강화하기위한 측정장비 평가기술 개발하여 신물질의 개발 및 새로운 현상발견 연구를 위한 첨단측정장비의 원천기술을 개발하고 실용화 함.
ㅇ 핵

연구목표
ㅇ 나노스케일 이미징장비 및 분석장비의 기반요소기술을 개발하여 세계최고 수준의 나노스케일 측정/분석장비 창출기반을 마련하며, 기존 방법의 한계를 뛰어넘기 위한 핵심 나노측정 기술들을 연구개발하여 신구조 및 신물질 기반에 의한 혁신적 발전이 예상되는 차세대 나노기술에 대응하고,
ㅇ 반도체, 디스플레이, 나노, 바이오 등과 같은 국가전략 산업분야의 국가산업경쟁력을 지속적으로 강화하기위한 측정장비 평가기술 개발하여 신물질의 개발 및 새로운 현상발견 연구를 위한 첨단측정장비의 원천기술을 개발하고 실용화 함.
ㅇ 핵심요소기술인 나노형상 및 나노물성 측정기술을 연구개발하여 양자소자, 유연소자, 신약개발 등의 신제품들의 창출을 촉발시키며, 측정과학 뿐만 아니라 측정표준 및 측정장비의 요소기술들을 함께 개발하여 국내 측정기기 산업의 부흥을 선도함.
연구내용
ㅇ 첨단 측정장비 요소기술개발 중과제는 ‘하전입자현미경 요소기술 개발’과 ‘나노측정기술 개발’ 2개의 소과제로 구성되어 5가지 분야 기술을 개발하고 있음.
1. 전자광학 요소기술 분야
■ 전계방출전자빔 발생장치 및 제어
■ 전자빔 집속렌즈 및 제어장치개발
■ 전계방출용 디지털 고압전원개발
■ 전자선용 박막 검출기개발
2. 이온광학 요소기술 분야
■ 이온빔 발생장치
■ 이온빔 집속렌즈 개발
■ 융합현미경용 정전 경통 개발
■ 이온빔 평가기술 개발
3. 질량분석기 요소기술 분야
■ 고감도 RGA용 이온원 개발
■ 고감도 RGA용 사중극자 질량분석기 기술연구
■ RF 회로 설계 기술 연구
4. 나노형상 3차원 측정기술 분야
■ 새로운 데이터 획득 알고리즘 기반의 실시간 SE 측정장치 개발
■ AFM in SEM 장치 개발
■ AFM 탐침-시료간 상호작용 연구
5. 나노물성 측정기술 분야
■ 스핀편향 전자원, 스핀분해 검출기, rotating MOKE등 스핀관련 측정장비개발
■ 저온스핀분극 STM 측정기술 확립 및 측정 표준화
■ 시간분해 MOKE 현미경 개발 및 자성동력학 측정기술 확립
■ 실리콘 기반 고감도 액침편광 측정기술 개발
기대효과
ㅇ 국내 관련 산업체로 하여금 나노융합현미경 시장의 조기진입 및 선도할 수 있도록 지원함.
ㅇ 나노형상 및 나노물성 측정기술은 차세대 반도체소자 개발의 핵심 기반기술일 뿐 아니라 시차를 두고 유연소자 디스플레이, 태양전지, 나노바이오 등 신소재 산업에 기여
ㅇ 대표적 나노 소자산업인 반도체 산업을 위한 선도적 측정기술 개발 및 국산화율 0 % 에 가까운 반도체 계측 및 검사 장비산업(국내시장 10 억불 이상, 세계시장 46 억불 이상)의 창출 지원.
ㅇ 개발되는 기술들을 지적재산권화 하고, 국내 장비업체에 기술이전하여 첨단장비산업을 활성화함으로써 신성장 동력확보에 기여.

목차 Contents

• 주요사업 연차실적·계획서 ... 1
• Ⅰ. 과제 개요 ... 1
• 1. 현 황 ... 1
• 한글요약문 ... 4
• Ⅱ. 2차년도(’13년) 실적 ... 5
• 1. 연구개발 개요 ... 5
• 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 17
• 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 20
• 4. 연구수행 내용 및 결과 ... 22
• 5. 연구개발 목표 달성도 및 자체평가 ... 45
• 6. 연구수행방법의 우수성과 및 사회적 기여도 등 ... 47
• 7. 연구성과 및 활용 ... 49
• 8. 연구 투입 자원 내역 ... 55
• 9. 연구책임자의 자율 평가 의견 ... 58
• 10. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 59
• 11. 중요 연구변경 사항 ... 59
• 12. 기타 건의사항 ... 59
• Ⅲ. 3차년도(’14) 계획 ... 60
• 1. 국내․외 관련 분야의 환경 변화 ... 60
• 2. 연구개발 목표 및 내용 ... 61
• 3. 연구 추진 계획 ... 62
• 4. 연구개발 추진체계 ... 63
• 5. 산·학·연 협동연구 추진계획 ... 63
• 6. 국제공동연구(협력) 추진계획 ... 64
• 7. 연구개발결과의 활용방안 및 기대성과 ... 64
• 8. 연구원 편성표 ... 68
• 9. 연구비 소요명세서 ... 69
• 10. 국가과학기술종합정보서비스(NTIS) 입력 자료 ... 80
• 끝페이지 ... 80