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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이지스(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-02 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201400014934 |
과제고유번호 | 1425076166 |
사업명 | 창업성장-건강관리연계 |
DB 구축일자 | 2014-10-04 |
키워드 | 핫플레이트.이트륨.프라즈마 코팅.세라믹. |
ㅁ개발목표
계획
ALN Heater를 대체하는 핫플레이트(Hot Plate) 제작
실적
개발 완료
ㅁ정량적 목표항목 및 달성도 / 1. 코팅 두께 : 270 ~ 299㎛ / 2. 코팅 조도 : 15 ~ 20㎛ / 3. 내식성 : 이상없음 / 4. 열전도율 : 17.2 W/mk / 5. 누설전류 : 이상없음(∞) / 6. 진공도 : 7.0E-8 Torr
ㅁ기대효과
반도체 제조 장비용 대체 핫플레이트의 개발을 통하여 국내 반도체 제조 공정에서의 중요 공정에서의 제조기술을 확보 할 수 있으며, 나아가
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