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보고서 상세정보

플라즈마 공정 모니터링 통합 시스템 개발

과제명 플라즈마 공정 모니터링 통합 시스템 개발
주관연구기관 명지대학교 산학협력단
MyongJi University
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2014-05
과제시작년도 2013
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201400021079
과제고유번호 1425079757
사업명 첫걸음기술개발사업
DB 구축일자 2014-11-10
연구과제
타임라인
과제명
플라즈마 공정 모니터링 통합 시스템 개발
과제기간
2013
총연구비 ...
초록

1. 최종목표
- OES, OPM, RF 센서 독립운용 소프트웨어 개발
- OPM, RF 센서 자체 개발
- 이종 센서를 통합적으로 운용할 수 있는 통합 소프트웨어 시스템 개발
2. 개발내용 및 결과
- O...

목차
Contents

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