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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-01 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201400023526 |
과제고유번호 | 1415126887 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2014-11-22 |
키워드 | 나노/마이크로 복합구조.나노임프린트.나노/마이크로 가공기술.나노 패턴.마이크로 패턴.nano/micro hybrid pattern.nanoimprint.nano/micro machining.nano pattern.micro pattern. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201400023526 |
o 나노임프린트 기반 나노/마이크로 융복합 패터닝 기술 개발
- 나노임프린트 스탬프 제작을 위한 간섭리소그래피 시스템 및 공정 개발
- 대면적 나노 임프린팅 복제 몰더 제작 공정
o 나노툴 제작을 위한 가공 메카니즘 분석 및 기계가공 기반 1㎛급 복합패턴 가공기술 개발
- 나노툴 제작을 위한 가공 메카니즘 분석
- 나노툴 패터닝용 가공 지그 및 회전홀더 설계 제작
- 나노툴 응용 나노/마이크로 복합 패턴 가공 시스템 구축
- 비평면/비구면 나노/마이크로 기계가공 기반 1㎛급 복합패턴 각도, 피치
IV. Results
○ Development of interference lithography system and process for nanoimpring stamp
○ sub-350nm scaled hybrid patterning using nanoimprinting process
○ Development of nanoimprinting lithography through selective air pressing and selective curing techniques
○ Development of mec
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