$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

나노/마이크로 복합구조 공정 및 응용기술

Manufacturing process and technology for nano and micro hybrid pattern

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-01
과제시작연도 2012
주관부처 지식경제부
Ministry of Knowledge Economy
등록번호 TRKO201400023526
과제고유번호 1415126887
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2014-11-22
키워드 나노/마이크로 복합구조.나노임프린트.나노/마이크로 가공기술.나노 패턴.마이크로 패턴.nano/micro hybrid pattern.nanoimprint.nano/micro machining.nano pattern.micro pattern.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201400023526

초록

o 나노임프린트 기반 나노/마이크로 융복합 패터닝 기술 개발
- 나노임프린트 스탬프 제작을 위한 간섭리소그래피 시스템 및 공정 개발
- 대면적 나노 임프린팅 복제 몰더 제작 공정
o 나노툴 제작을 위한 가공 메카니즘 분석 및 기계가공 기반 1㎛급 복합패턴 가공기술 개발
- 나노툴 제작을 위한 가공 메카니즘 분석
- 나노툴 패터닝용 가공 지그 및 회전홀더 설계 제작
- 나노툴 응용 나노/마이크로 복합 패턴 가공 시스템 구축
- 비평면/비구면 나노/마이크로 기계가공 기반 1㎛급 복합패턴 각도, 피치

Abstract

IV. Results
○ Development of interference lithography system and process for nanoimpring stamp
○ sub-350nm scaled hybrid patterning using nanoimprinting process
○ Development of nanoimprinting lithography through selective air pressing and selective curing techniques
○ Development of mec

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 6
  • CONTENTS ... 8
  • 목 차 ... 9
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 10
  • 1절. 연구의 목적 ... 10
  • 2절. 연구의 필요성 ... 10
  • 3절. 연구개발의 범위 ... 16
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 17
  • 제 1 절. 연구 논문 분석 ... 17
  • 제 2 절. 특허 분석 ... 24
  • 제 3절. 시장 분석 ... 31
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 43
  • 1절. 나노임프린트 기반 나노/마이크로 융복합 패터닝 기술 개발 ... 43
  • 2절. 나노툴 제작을 위한 가공 메카니즘 분석 및 기계가공 기반 1㎛급 복합패턴 가공기술 개발 ... 52
  • 3절. 광소자 적용 나노 복합패턴 제작 및 복합기능 하이브리드 소재개발 ... 67
  • 4절. 에너지 소자용 나노/마이크로 복합패턴 설계기술 개발 ... 75
  • 5절. MagIC 소재응용 나노/마이크로 패터닝 기술 ... 79
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 84
  • 제 1절. 당해연도 세부 연구목표 및 수행내역 ... 84
  • 제 2절. 당해연도 연구성과 ... 85
  • 제 4절. 관련분야에의 기여도 ... 92
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 96
  • 제1절. 연구개발결과의 활용방안 ... 96
  • 제 2절. 기업화 추진방안 ... 96
  • 제 6 장 참고문헌 ... 98
  • 끝페이지 ... 99

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트