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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

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반도체 웨이퍼 micro bump 3D 검사장비개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 에이티아이(주)
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-07
과제시작연도 2012
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201400026803
과제고유번호 1425077252
사업명 산학연협력기술개발
DB 구축일자 2014-11-17

초록 ▼

2. 개발내용 및 결과
백색광을 이용한 광 삼각법을 바탕으로 광학계를 구성하여 범프 높이에 대한 이론적고찰 위에 알고리즘을 개발하여 범프 높이를 계산하였다. 백색광을 사용하게 되면 일반적으로 쓰게 되는 레이저보다 신호대 잡음비가 높아져서 반복성 및 정밀도 향상에 도움이 된다. 알고리즘은 병렬 처리 기법을 활용하여 계산 효율을 높여서 범프 높이에 대한 고속 처리를 달성하였고, 이렇게 계산된 범프 높이에 대하여 여러 가지 통계처리를 통해 많은 데이터들로부터 공정 관리 및 검사에 의미 있는 데이터들을 뽑아낼수 있도록 개발하였다. 하

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