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단결정 실리콘 잉곳 제조수율 향상을 위한 고순도 석영도가니 코팅기술개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 안동대학교 산학협력단
AnDong National University
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-05
과제시작연도 2012
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201400027512
과제고유번호 1425074108
사업명 산학연 공동기술개발 지역사업
DB 구축일자 2014-11-22

초록 ▼

2. 개발내용 및 결과
◦ 코팅용액 조성 개발
■ Ba 수산화물 코팅용액 개발
■ sol-gel법에 의한 코팅 졸의 개발
◦ 코팅방법 개발
■ 분무 조건 및 열처리 조건 개발
◦ 코팅재료 평가 기술 개발
■ 실투기구 규명 및 표면 분석 기술
◦ 코팅된 석영도가니 물성 평가
■ 잉곳(ingot) 수율 측정
: 코팅 전 석영도가니의 잉곳 제조수율이 69.10%였으나 코팅 처리된 석영도가니의 경우 83.78%로 14.68%의 수율향상을 가져옴
■ 기공율은 1% 이내로 매우 양호함

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 개발결과의견서 ... 2
  • 최종보고요약서 ... 3
  • 목차 ... 5
  • 제 1 장 서 론 ... 6
  • 제 1 절 기술개발의 필요성 ... 6
  • 제 2 절 사업목표 ... 7
  • 제 3 절 국내 • 외 관련 기술현황 및 시장현황 ... 7
  • 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ... 9
  • 제 1 절 본 과제를 위한 기본 개념 및 연구방향 ... 9
  • 제 2절 과제 개발 내용 ... 12
  • 제 3 장 사업성과 ... 37
  • 제 1 절 기술적 성과 ... 37
  • 제 2 절 경제적 성과 ... 37
  • 제 3 절 기타 성과 ... 37
  • 제 4 장 결론 ... 38
  • 제 1 절 석영도가니의 실투현상 연구 ... 38
  • 제 2 절 Ba 코팅된 석영도가니 시제품 제작 ... 38
  • 제 3 절 향후 계획 ... 38
  • <부 록 > ... 39
  • 바륨(Ba)이 코팅된 석영도가니 시제품 사진 ... 39
  • 끝페이지 ... 39

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참고문헌 (25)

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