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적외선 고흡수성 나노소재 집적 MEMS 적외선 센서 원천기술 개발

Development of Path-Breaking Technology for MEMS Infrared Sensors Using High-Infrared-absorbable Nano Materials

보고서 정보
주관연구기관 나노종합기술원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2014-05
과제시작연도 2013
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201500004405
과제고유번호 1345199246
사업명 일반연구자지원(교육부)
DB 구축일자 2015-05-30
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201500004405

초록

※ 총 연구기간 동안 연구수행을 통해 도출한 연구성과에 대해 요약하여 기술함
종래의 열형 적외선 검출기로는 초전형(焦電型) 적외선 고체 촬상 장치가 있다. 이 장치의 적외선 흡수막은 광범위한 적외선 영역에 감도를 갖는 유기물층과 파장 10㎛ 부근의 흡수율이 높은 SiO 2 층으로 이루어진 적층 구조를 갖는다. 또 다른 방햫으로, 열형 적외선 센서가 있다. 이 적외선 흡수체로는 외부로부터의 입사 적외선의 에너지를 열로 변환하기 위한 적외선 흡수체로서, 적어도 2개 이상의 금속막을 각각 적외선 반사층과 흡수층으

목차 Contents

  • 일반연구자지원사업 최종(결과)보고서 ... 1
  • 목차 ... 3
  • Ⅰ. 연구결과 요약문 ... 4
  • Ⅱ. 연구내용 및 결과 ... 5
  • 1. 연구과제의 개요 ... 5
  • 2. 국내외 기술개발 현황 ... 6
  • 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 6
  • 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 26
  • 5. 연구결과의 활용 계획 ... 30
  • 6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 35
  • Ⅲ. 연구성과 ... 47
  • 끝페이지 ... 48

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참고문헌 (25)

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