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보고서 상세정보

펨토초 레이저 기반 다광자 흡수를 이용한 신개념 노광기술 개발

과제명 펨토초 레이저 기반 다광자 흡수를 이용한 신개념 노광기술 개발
주관연구기관 마이크로인스펙션(주)
Micro Inspection. Co., Ltd
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2015-01
과제시작년도 2013
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201500014808
과제고유번호 1425083251
사업명 기술혁신개발사업
DB 구축일자 2015-09-26
키워드 펨토초 레이저.다광자 흡수.초점이동.레이저 직접 묘화.레이저 노광.
초록

□ 개발목표
계 획
- 펨토초 레이저를 이용한 Two Photon Polymerization 기술 개발
- 레이저 초점이동 기술 및 다광자 흡수 노광 기술 개발
실 적
- 펨토초 레이저를 이용한 Two Ph...