최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 마이크로인스펙션(주) Micro Inspection. Co., Ltd |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-01 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500014808 |
과제고유번호 | 1425083251 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-09-26 |
키워드 | 펨토초 레이저.다광자 흡수.초점이동.레이저 직접 묘화.레이저 노광. |
□ 개발목표
계 획
- 펨토초 레이저를 이용한 Two Photon Polymerization 기술 개발
- 레이저 초점이동 기술 및 다광자 흡수 노광 기술 개발
실 적
- 펨토초 레이저를 이용한 Two Photon Polymerization 기술 개발
- 레이저 초점이동 기반 기술 확보 및 다광자 흡수 노광기술 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Two Photon Polymerization 선폭 : 계획(0.5um 이하), 실적(Two Photon Polymerization을
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.