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연합인증

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반도체 공정용 유기재료 제조공정 및 설비개선 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 벤처기업협회
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2015-02
과제시작연도 2014
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201500019320
과제고유번호 1425091688
사업명 중소기업기술개발인력활용지원
DB 구축일자 2015-11-10
키워드 공정.설계.문제해결.정제.싸이클론.

초록 ▼

□ 기술애로 해결목표
계 획
Metal, 특히 철 함량을, 10ppb 수준 이내로 안정적으로 유지품질을 안정적으로 유지하기 위한 Operation 표준화
실 적
- 철 함량 2.52ppb 달성
- 품질 유지 위한 시설, 공정 절차, 방법 수립

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Fe 오염 : 계획(20ppb 이하 ), 실적(2.52ppb)
2. B 오염 : 계획(20ppb 이하 ), 실적(5.85ppb)
3. Na 오염 : 계획(50ppb 이하 ), 실적(15.81ppb)

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 이공계전문가 기술개발서포터즈사업 해결과제 최종결과보고서 ... 2
  • 요 약 서 (초 록) ... 3
  • 제 1 장 기술의 개요 ... 4
  • 제 1 절 기술애로 현황 ... 4
  • 제 2 절 기술애로 해결의 필요성 ... 4
  • 제 2 장 해결목표 및 추진방법 ... 5
  • 제 1 절 해결목표 ... 5
  • 제 2 절 기술애로해결내용 및 추진방법 ... 6
  • 제 3 절 기술전문가그룹 수행내역 ... 14
  • 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 14
  • 제 1 절 기술애로 해결 성과 및 기대효과 ... 14
  • 제 2 절 참여기업 만족도 ... 16
  • 끝페이지 ... 19

참고문헌 (25)

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