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NTIS 바로가기주관연구기관 | 국가핵융합연구소 |
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연구책임자 | 이승환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-03 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 국가핵융합연구소 |
등록번호 | TRKO201600001189 |
과제고유번호 | 1711033140 |
DB 구축일자 | 2016-05-07 |
키워드 | 마이크로플라즈마,직접인쇄,나노입자,패턴닝,전기화학Microplasma,Direct write,Nanoparticles,Patterning,Electrochemistry |
연구의 목적 및 내용
○ 마이크로 플라즈마 기반의 집적 인쇄 플랫폼 구축
- 마이크로플라즈마 소스 설계 및 제작
- 직접인쇄 스테이지 제작 및 설치
- 마이크로 플라즈마 기반의 집적인쇄 Closed chamber 설계 및 제작
○ 고 해상도 패턴 기술 개발
- 고 해상도 마이크로 플라즈마소스 제작 (1차년도: ~ 100μm)
- 마이크로플라즈마를 이용한 고해상도 패턴 기술 개발(1차년도: < 100μm)
- PET 기반의 귀금속 (Ag/Au) 패턴 기술 개발
○ 마이크로플라즈마 기반의
Results
○ Patterned 100 μm based on microplasma-assisted direct write
- Design and setup of atmospheric-pressure AC microplasma
- Setup microplasma-assisted direct writing system
- Generation atmosheric-pressure AC microplasma with 1000 μm~ ~50 μm resolution.
○ Development of lithogra
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