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나노측정 요소기술 개발

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 안상정
참여연구자 오가와 타카시 , 조용재 , 조복래 , 류현 , 박인용 , 조현모 , 김영헌 , 김주황 , 그외 다수 , 배문섭
보고서유형연차보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2015-10
과제시작연도 2015
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO201600001241
과제고유번호 1711034515
DB 구축일자 2016-05-14
키워드 하전입자,연성물질,나노소자,나노측정,나노물질Charged particle,Soft matter,Nano device,Nanoscale characterization,Nanomaterials

초록

연구목표
◦ 나노스케일 형상측정 및 극미량 성분분석의 어려움을 겪고 있는 연성물질 (soft matter)에 대하여 전자빔 및 이온빔 기반의 측정 및 가공기술을 개발한다. 현재 불가능한 상태의 형상측정, 분광측정, 성분측정 등을 포함한 융합측정 원천기술을 발굴하고 첨단측정장비기술을 가속화 하여 연성물질에 대한 나노가공, 나노조작, 나노분석, 등의 연구능력을 향상.
◦ 차세대 나노소자용 한계극복의 나노측정기술 개발을 통하여, 신구조 및 신물질 기반에 의한 혁신적 발전이 예상되는 차세대 나노기술에 대응하고, 핵심요소기술인 나

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 주요사업 연차실적·계획서 ... 2
  • 한글요약문 ... 5
  • Ⅱ. 1차년도(’15년) 실적 ... 6
  • 1. 연구개발 개요 ... 6
  • 2. 연구개발 목표 및 평가의 착안점 ... 23
  • 3. 연구범위 및 연구수행 방법 ... 25
  • 4. 연구수행 내용 및 결과 ... 26
  • 5. 연구개발 목표 달성도 및 자체평가 ... 67
  • 6. 연구수행방법의 우수성과 등 ... 71
  • 7. 사업화 가능성 및 사회‧경제적 기여도 ... 72
  • 8. 연구성과 및 활용 ... 73
  • 9. 연구 투입 자원 내역 ... 81
  • 10. 중간진도 점검 결과 및 개선내역 ... 84
  • 11. 연구책임자의 자율 평가 의견 ... 84
  • 12. 연구수행에 따른 문제점 및 개선방향 ... 86
  • 13. 중요 연구변경 사항 ... 86
  • 14. 기타 건의사항 ... 86
  • Ⅲ. 2차년도(’16) 계획 ... 87
  • 1. 국내․외 관련 분야의 환경 변화 ... 87
  • 2. 연구개발 목표 및 내용 ... 93
  • 4. 연구성과 목표 ... 95
  • 4. 연구개발 추진체계 ... 96
  • 5. 산·학·연 협동연구 추진계획 ... 98
  • 6. 국제공동연구(협력) 추진계획 ... 99
  • 7. 연구개발결과의 활용방안 및 기대성과 ... 99
  • 8. 연구원 편성표 ... 104
  • 끝페이지 ... 106

표/그림 (76)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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