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NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노종합기술원 |
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연구책임자 | 황욱중 |
참여연구자 | 홍대원 , 오재섭 , 김영수 , 강민호 , 이주범 , 박남수 , 김희연 , 유정호 , 양충모 , 그외 다수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-01 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 KA |
사업 관리 기관 | 미래창조과학부 |
등록번호 | TRKO201600001536 |
과제고유번호 | 1711022416 |
DB 구축일자 | 2016-05-07 |
키워드 | 사물인터넷,스마트센서,멤브레인,3차원구조,희생층IoT,Smart Sensor,Membrane,3D-Structure,Sacrificial layers |
○ 3차원 구조의 나노멤브레인 공정 플랫폼 개발
1. 3차원 구조 멤브레인 설계 및 시뮬레이션
- 3차원 구조의 멤브레인 설계지원환경 구축
- 3차원 구조의 멤브레인 공정 시뮬레이션 및 25um 픽셀 어레이 설계
2. 입체형 나노구조 멤브레인 요소 및 모듈공정기술 개발
- 고선택비를 갖고 건식제거가 가능한 희생층 요소공정 기술개발
- CMOS 반도체 공정기술과 호환성 있는 얇은 박막 멤브레인 공정기술 개발
3. 멤브레인 전기적 특성 평가 기술개발
- 정량적 평가 가능한 전기적 특성의 최적화
Ⅳ. Results
1. Development of supporting the design environment, Simulation of 3D membrane and Design of 25um pixel arrays
2. Development of the high-selectivity sacrificial layer and Fabrication thin-membrane based on CMOS compatible process
3. Improvement of the electric uniformity and Ach
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