최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 명지대학교 MyongJi University |
---|---|
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201600009519 |
과제고유번호 | 1345221968 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2016-10-01 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201600009519 |
Ⅰ. 연구결과 요약문
● OES 데이터 분석 방법 개발
- 실험계획법(DOE)에 근거한 face-centered CCD를 이용하여 PECVD 또는 RIE 장비로 실험을하여 OES 데이터 취득을 수행
- 광범위하게 취득되는 OES 데이터를 SNR 방법을 이용하여 필요한 파장대만을 선별, 분석에 사용하도록 개발
- 분석에 필요한 파장들의 주요 특징만을 골라내서 처리하기 위해 PCA(Principal Component Analysis)기법을 사용하여 하나의 대표적인 파장만을 선택하는 알고리즘 개발
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.