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보고서 상세정보

차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발

과제명 차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어기술개발
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2013-10
과제시작년도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700001255
과제고유번호 1415124447
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2017-09-20
키워드 공간분해 발광분광법.플라즈마 센서.미세 아크.실시간 입자 측정.툴박스.공정 이상 감지 진단 시스템.첨단 공정 제어.진공펌프 자기진단.상태진단.예지보수.원격제어.
초록

최종목표
◻ 반도체 양상 공정 진단용 센서 개발 효율성 극대화 연구 (총괄)
▪ 세부과제 유기적 협력 효율화 제고
▪ 사업성 검증 워크샵 개최
▪ 사업 진도점검 및 수요업체와의 스펙 검증 정례화
◻ 반도체 ...

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