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연합인증

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차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 신용현
참여연구자 김장환
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-10
과제시작연도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700001255
과제고유번호 1415124447
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2017-09-20
키워드 공간분해 발광분광법.플라즈마 센서.미세 아크.실시간 입자 측정.툴박스.공정 이상 감지 진단 시스템.첨단 공정 제어.진공펌프 자기진단.상태진단.예지보수.원격제어.

초록

최종목표
◻ 반도체 양상 공정 진단용 센서 개발 효율성 극대화 연구 (총괄)
▪ 세부과제 유기적 협력 효율화 제고
▪ 사업성 검증 워크샵 개최
▪ 사업 진도점검 및 수요업체와의 스펙 검증 정례화
◻ 반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발 (세부 1)
▪ 반도체 플라즈마 실공정 계측을 위한 공간분해 OES 상용화 장비 개발
▪ 능동형 오염방지 기술을 채용한 고밀도 플라즈마 SPOES 개발
▪ 실시간 광학 플라즈마 모니터링 시스템(OPMS) 개발
▪ 반도체 양산 공정

목차 Contents

  • 표지 ... 1제 출 문 ... 2기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3기술개발사업 주요 연구성과 ... 10목차 ... 18제 1 장 서론 ... 19 제 1 절 과제의 개요 ... 19제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과 (기술개발 내용 및 방법) ... 28 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 28 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 31 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 36 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 72 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 72제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 73 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 73 1. 연구개발 추진 일정 ... 73 2. 연구개발 추진 실적 ... 81 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 82 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 85 1. 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 86 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 89 제 4 절 고용 창출 효과 ... 97 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 98부록 1. 1단계 세부과제 ... 99끝페이지 ... 133

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참고문헌 (25)

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