최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
---|---|
연구책임자 | 신용현 |
참여연구자 | 김장환 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001255 |
과제고유번호 | 1415124447 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 공간분해 발광분광법.플라즈마 센서.미세 아크.실시간 입자 측정.툴박스.공정 이상 감지 진단 시스템.첨단 공정 제어.진공펌프 자기진단.상태진단.예지보수.원격제어. |
최종목표
◻ 반도체 양상 공정 진단용 센서 개발 효율성 극대화 연구 (총괄)
▪ 세부과제 유기적 협력 효율화 제고
▪ 사업성 검증 워크샵 개최
▪ 사업 진도점검 및 수요업체와의 스펙 검증 정례화
◻ 반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발 (세부 1)
▪ 반도체 플라즈마 실공정 계측을 위한 공간분해 OES 상용화 장비 개발
▪ 능동형 오염방지 기술을 채용한 고밀도 플라즈마 SPOES 개발
▪ 실시간 광학 플라즈마 모니터링 시스템(OPMS) 개발
▪ 반도체 양산 공정
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.