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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)테스 |
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연구책임자 | 박근오 |
참여연구자 | 박건영 , 이창석 , 김홍석 , 이준용 , 윤석래 , 홍장식 , 박상욱 , 정우덕 , 한성호 , 조윤석 , 임성규 , 강상우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001272 |
과제고유번호 | 1415124542 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 공간분해 발광분광법.플라즈마 센서.미세 아크.실시간 입자 측정.툴박스.공정 이상 감지 진단 시스템.첨단 공정 제어. |
○ 최종목표
◻ 반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발
▪ 반도체 플라즈마 실공정 계측을 위한 공간분해 OES 상용화 장비 개발
▪ 능동형 오염방지 기술을 채용한 고밀도 플라즈마 SPOES 개발
▪ 실시간 광학 플라즈마 모니터링 시스템(OPMS) 개발
▪ 반도체 양산 공정 나노오염입자 실시간 진단용 소형 시스템 개발
▪ Advanced Sensor 통합 솔루션(Tool Box) 개발
▪ 증착 장비용 첨단 공정제어(APC) 시스템 및 제어 알고리즘 개발
○ 개발내
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