$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

보고서 상세정보

반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발

과제명 반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발
주관연구기관 (주)테스
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2013-10
과제시작년도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700001272
과제고유번호 1415124542
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2017-09-20
키워드 공간분해 발광분광법.플라즈마 센서.미세 아크.실시간 입자 측정.툴박스.공정 이상 감지 진단 시스템.첨단 공정 제어.
초록

○ 최종목표
◻ 반도체 공정 실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템 개발
▪ 반도체 플라즈마 실공정 계측을 위한 공간분해 OES 상용화 장비 개발
▪ 능동형 오염방지 기술을 채용한 고밀도 플라즈마 SPOES 개발...

연구자의 다른 보고서