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대기압 플라즈마 표면처리 장비 Scale-up 기술
Scale-up technology of atmospheric pressure plasma equipment for surface treatment 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 허민
참여연구자 이재옥 , 강우석 , 조강일
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2017-02
과제시작연도 2016
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201700004768
과제고유번호 1711046682
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2017-09-20
키워드 플라즈마 표면처리.유전체장벽방전.대기압 플라즈마.대면적(6G급).plasma treatment.dielectric barrier discharge.atmospheric-pressure plasmas.large-area (6G).
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700004768

초록

본 과제는 디스플레이 산업용 건식 표면처리에 활용할 수 있는 6G급 플라즈마 표면처리 반응기 개발을 목표로 한다. 기계연구원에서 독자 개발한 L전극형 양극성 구동 유전체장벽 플라즈마 반응기를 기반으로 대형화 가능성을 검토하였다. 10cm급 파일럿 규모의 반응기에서 구동조건과 반응기구조에 따라 안정화영역이 결정되는 특성을 파악하고, 6G급으로 확대하기위해 예상되는 문제점을 검토하였다. 최종 설계/제작된 1.5m급 반응기는 안정적으로 플라즈마를 발생할수 있음을 확인하였다.

(출처 : 최종보고서)

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 최종보고서 ... 3
  • 요약문 ... 4
  • 목차 ... 5
  • 제1장 연구개발과제의 개요 ... 6
  • 1. 연구개발의 목적 ... 6
  • 2. 개발 대상 제품의 중요성과 파급효과 ... 6
  • 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 7
  • 1. 대기압 플라즈마 종류 ... 7
  • 2. 기존기술과의 비교 ... 7
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 9
  • 1. 주요 연구 내용 ... 9
  • 2. 10cm급 플라즈마 반응기 운전마진 확보 ... 9
  • 3. 6G급 플라즈마 반응기 설계/제작 ... 10
  • 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 11
  • 1. 목표달성도 종합 ... 11
  • 2. 관련분야에의 기여 ... 11
  • 제5장 연구개발성과의 활용계획 ... 12
  • 제6장 연구시설·장비 현황 ... 12
  • 제7장 참고 문헌 ... 13
  • 끝페이지 ... 14

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참고문헌 (25)

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