[보고서]전해수를 세정수로 사용한 마이크로버블 세정장치 개발

이태양

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전해수를 세정수로 사용한 마이크로버블 세정장치 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	(주)범용테크놀러지
연구책임자	이태양
참여연구자	서민주 , 곽명수 , 임수빈 , 유호림 , 임충환 , 최완규 , 이건직 , 장재훈
보고서유형	최종보고서
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	2014-11
과제시작연도	2013
주관부처	산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호	TRKO201700006903
과제고유번호	1415131121
사업명	산업집적지경쟁력강화사업
DB 구축일자	2017-10-12
키워드	플렉시불 디스플레이.전해수.마이크로버블생성기.진공.거품.

초록 ▼

1. 최종목표
- 환경 친화적 전해수를 사용한 플렉시블 디스플레이용 나노버블 세정장치 개발
- 전해수 물리적，화학적 성질을 적용한 Recovering Solvent 기술의 구현
- 초정밀세정을 위한 MWG(Micro~bubble Water Generator)의 국산화 개발
- Vaper Rinsing과 Vaccum Dry의 물리적 작용의 고도의 Synchronizing 실현
- 전해수소이온수 생성장치 개발

2. 개발내용 및 결과
- 마이크로버블을 이용한 수계 및 준수계 겸용 정밀세정 장치 개발
- 전해수의 물리적，화학적 성질을 적용한 KecoveHng Solvent 기술의 구현
- 초정밀세정을 위한 MWG 원리를 도입한 시스템 개발
- 진공초음파의 Cavitation 효과와 MWG 적용 시 초음파 Cavitation 특성개발
- 초 정밀 세정 시 Micro Bubble 생성의 적정치 Control 기술 개발
- 전해수소이온수 세정액올 사용한 마이크로버블 세정장치 시제품 제작
- Pilot 장비에 대한 현장 적용 시험 및 최종 시제품 제작 완료
- 관련 특허출원(전해이온수와 수소를 이용한 세정장치)
- KTR 공인시험성적서 발부 및 관련 세부기술 특허 등록(10-1448580호)

3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
- 마이크로버블을 이용한 친환경，초정밀 세정시스템 기술 확보
- 우수한 세정력 확보 : 기존 세정시스템(세정제, 장비)과 대등 이상의 세정력.
- 반도체 세정용 나노버블 생성기술 개발로 수입대체 호과
- 초정밀 세정사업분야의 활성화로 신규투자 확대 및 신규 인력 증원 확대

4. 적용분야
- 하이브리드 자동차 시장 대체 적용
- 휴대전화，PC, 폴렉시블디스플레이 시장 대체 적용

(출처:초록 p.4)

목차 Contents

표지 ... 1생산기술사업화 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3최종보고서 초록 ... 4목차 ... 5제 1 장 서론 ... 6 제 1 절 개발 기술의 개요 ... 6 제 2 절 개발기술의 목표 및 내용 ... 9 제 3 절 국내 ·외 관련기술의 현황 ... 21 제 4 절 기술개발 시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 24제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 29 제 1 절 개발기술의 정량적 목표 ... 29 제 2 절 개발기술의 추진 전략 및 체계 ... 30 제 3 절 개발기술의 편성 및 일정 ... 32 제 4 절 개발기술의 추진 실적 ... 34제 3 장 결과 ... 124 제 1 절 최종 시제품 현황 ... 124 제 2 절 개발기술의 유형적 실적 ... 125 제 3 절 시장현황 및 사업화 전망 ... 129 제 4 절 고용창출효과 ... 132끝페이지 ... 132

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