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연합인증

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CVD(Chemical Vapor Deposition)용 AIN Heater 개발

보고서 정보
주관연구기관 (주)마이크로티에스
연구책임자 이주화
참여연구자 오준민 , 박종현 , 한원선
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2013-07
과제시작연도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700006996
과제고유번호 1415124912
사업명 산업집적지경쟁력강화사업
DB 구축일자 2017-10-12
키워드 히터.세라믹 히터.세라믹.시브이디.에이엘앤히터.

초록

1. 최종목표
최종개발 목표는 발열체 두께 및 폭 편차 관리를 통해 600℃사용 환경 에서의 발열체의 밀착력을 확보하여 균일한 온도의 ALN Heater 제조기술 확보.
- 최대 온도 600℃
- 온도 균일도 600±2%
- 저항 편차 Max 6%
- 평탄도 Max 20um.

2. 개발내용 및 결과
〇 발열체의 두께 편차가 1.0um 이하로 관리될 수 있도록 공정 조건 개발.
- 발열체를 무전해 도금공정을 적용하여 두께편차를 최소화 하였으며, 발열체의 재료는 Ni-P를 사용하여 공정

목차 Contents

  • 표지 ... 1제출문 ... 2최종보고서 초록 ... 3목차 ... 6제 1 장 서론 ... 7 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 9 제 2 절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 12 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급 효과 ... 13제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 17 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 17 제 2 절 개발 내용 및 개발 범위 ... 18제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 20 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 20 1. 기술개발 추진방법·전략 ... 20 2. 수행기관별 업무분장 ... 21 3. 세부 추진일정 및 역할분담 ... 22 4. 기술개발 추진실적 ... 23 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 68끝페이지 ... 71

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참고문헌 (25)

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