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보고서 상세정보

CVD(Chemical Vapor Deposition)용 AIN Heater 개발

과제명 CVD(Chemical Vapor Deposition)용 AlN Heater 개발
주관연구기관 (주)마이크로티에스
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2013-07
과제시작년도 2012
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700006996
과제고유번호 1415124912
사업명 산업집적지경쟁력강화사업
DB 구축일자 2017-10-12
키워드 히터.세라믹 히터.세라믹.시브이디.에이엘앤히터.
초록

1. 최종목표
최종개발 목표는 발열체 두께 및 폭 편차 관리를 통해 600℃사용 환경 에서의 발열체의 밀착력을 확보하여 균일한 온도의 ALN Heater 제조기술 확보.
- 최대 온도 600℃
- 온도 균일도 600±...

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