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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)마이크로티에스 |
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연구책임자 | 이주화 |
참여연구자 | 오준민 , 박종현 , 한원선 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700006996 |
과제고유번호 | 1415124912 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화사업 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 히터.세라믹 히터.세라믹.시브이디.에이엘앤히터. |
1. 최종목표
최종개발 목표는 발열체 두께 및 폭 편차 관리를 통해 600℃사용 환경 에서의 발열체의 밀착력을 확보하여 균일한 온도의 ALN Heater 제조기술 확보.
- 최대 온도 600℃
- 온도 균일도 600±2%
- 저항 편차 Max 6%
- 평탄도 Max 20um.
2. 개발내용 및 결과
〇 발열체의 두께 편차가 1.0um 이하로 관리될 수 있도록 공정 조건 개발.
- 발열체를 무전해 도금공정을 적용하여 두께편차를 최소화 하였으며, 발열체의 재료는 Ni-P를 사용하여 공정
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