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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 Chungnam National University |
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연구책임자 | 최재학 |
참여연구자 | 이장용 , 이화수 , 남희균 , 백가영 , 황성현 , 권다솔 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201700009723 |
과제고유번호 | 1711026031 |
사업명 | 원자력연구기반확충사업 |
DB 구축일자 | 2017-11-04 |
키워드 | 양성자 조사.폴리비닐알코올.전도성 탄소 미세패턴.패턴 마스크.Proton Irradiation.Poly(vinyl alcohol).Conductive Carbon Micropatterns.Pattern Mask. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700009723 |
○ 본 과제에서는 양성자 빔 조사를 이용하여 친환경 수용성 폴리비닐알코올(PVA) 고분자로부터 전도성 탄소 미세패턴 제작 기술을 개발하였음.
- 본 과제에서는 수용성 PVA 박막(두께: 180 nm)을 제조한 후 전처리 및 열안정화 공정이 필요 없이 마스크를 통한 양성자 빔 조사 및 탄화를 통해 우수한 전기적 특성(전도도: 5.0 x 102 S/cm)을 갖는 탄소 미세패턴(크기: 50 μm)을 제조하였음.
- 본 과제 개발 기술은 탄소 미세패턴 형성을 위한 플라즈마 에칭 등의 추가 공정이 필요 없어 향후 트랜지스터 등 다
Ⅳ. The result of the research and development
○ Preparation of Conductive Carbon Micropatterns From Water-soluble Poly(vinyl alcohol) Using Proton Irradiation
- Carbon micropatterns with a pattern size of 50 μm were successfully prepared from thin PVA films (thickness: ~ 150 nm) by proton irra
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