초록 ▼

1. RF magnetron sputtering법으로 ZnO:Al 박막결정을 성장한 후 수소가스 분위기에서 열처리하여 표면 개질된 ZnO:Al 박막결정의 광학적 및 전기적 특성을 측정하였는데, 수소분위기에서 열처리함으로써 광학적 투과율이 향상되었으며, 태양광 소자에서 배면 반사물질로 개발하는데 수소분위기 열처리는 중요한 역할을 할 것으로 판단됨.

2. Reactive RF sputtering법으로 성장된 ZnO:Al 박막결정의 후속 열처리 효과를 광학 투과율 측정과 광학적 타원 분광법으로 조사하였다. Tauc-Loren

1. RF magnetron sputtering법으로 ZnO:Al 박막결정을 성장한 후 수소가스 분위기에서 열처리하여 표면 개질된 ZnO:Al 박막결정의 광학적 및 전기적 특성을 측정하였는데, 수소분위기에서 열처리함으로써 광학적 투과율이 향상되었으며, 태양광 소자에서 배면 반사물질로 개발하는데 수소분위기 열처리는 중요한 역할을 할 것으로 판단됨.

2. Reactive RF sputtering법으로 성장된 ZnO:Al 박막결정의 후속 열처리 효과를 광학 투과율 측정과 광학적 타원 분광법으로 조사하였다. Tauc-Lorentz 모델을 이용하여, ZnO:Al 박막의 광학상수를 측정하였으며, 열처리 온도에 따라 굴절률과 소광계수는 일관되게 변화함을 확인하였다.

3. 상온 RF magnetron sputtering 법으로 증착된 ZnO:Al 박막의 특성에 대한 열처리 온도의 영향
상온에서 RF 스퍼터링법으로 증착하여 열처리한 ZnO:Al 박막의 투과율은 가시광성 영역에서 평균 85~95%으로 향상되었으며, 광학적 띠 간격에너지는 운반자 농도의 변화에 따라서 3.27~3.45 eV

4. 헬륨분위기에서 열처리한 ZnO 단결정의 구조적 및 광학적특성
Hydrothermal 법으로 성장된 ZnO 단결정을 헬륨분위기에서 열처리한 시료의 구조는 변하지 않았으며, (002) 회절 피크의 반치폭이 감소하였다. PL 스펙트럼은 near-band-edge와 가시광(green과 yellow) 발광을 보였으며, 헬륨열처리한 후의 스펙트럼은 결정성이 향상됨을 보여주었으며 near-band-edge는 증가하였고 가시광영역은 감소하였다.

5. Al-doped ZnO 박막결정을 실온에서 성장시켜 질소가스 분위기에서 열처리한 후 90-95%의 아주 높은 투과율을 확인하였으며, 날카로운 흡수단을 보였다. Tauc-Lorentz 모델을 써서 광학적 특성을 타원분광법으로 조사하였으며, 밴드갭 에너지는 열처리 온도 증가에 따라 증가하였다. 이것은 Burstein-Moss 효과와 경향성이 일치하였다.

6. 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 성장된 ZnO:Ga 박막의 기판 온도에 따른 특성
성장시 기판온도 증가에 따라 박막의 투과율, 굴절률, 소광계수 등을 측정하였으며, 운반자 농도의 변화에 따른 수송 특성 변화를 Burstein-Moss 효과와 비교하여 설명

7. ZnO:Ga 박막내의 온도유도 변형력에 의한 구조적, 전기적, 및 광학적 특성
Si(001) 기판 위에 성장시킨 ZnO:Ga 박막결정의 열에 의한 변형력 효과를 조사하였으며, 저온에서 성장시킨 박막 내의 잔여 압축 변형력은 기판온도에 따라 감소하며, 성장온도가 증가함에 따라 인장 변형력으로 되었다. 박막의 비저항은 변형력이 증가함에 따라 감소하였으며. 반면에 운반자 농도와 이동도는 증가하였다.

8. RTP법으로 후속 열처리한 Cu(In,Ga)Se2 박막의 구조적 및 전기적 특성 분석
동시 증발법으로 성장시킨 CIGS 광 흡수층을 후 급속 열공정법으로 열처리하였다. 후속 열처리 온도 증가에 따라 격자상수가 증가하고, 결정입자의 크기는 최대 653.6 nm까지 증가하였다.

9. RF sputtering법으로 사파이어, 석영, 실리콘 및 유리 기판 위에 성장시킨 ZnO:Ga 박막결정 상의 이축 인장 변형력이 있을 때 광학적 밴드갭 에너지에 대한 식을 제시하였으며, 박막결정의 밴드갭 에너지는 Burstein-Moss 효과에 의해 고에너지 영역으로의 이동함을 확인하였다.

10. 박막결정과 기판사이의 열 부정합에 의하여 유도되는 이축 변형력을 Cu2O 박막결정에서 확인하였으며, 성장 온도에 따라 변형력이 증가하였고, 전기저항은 감소하였다. 반면에 전하운반자 농도와 Hall 이동도는 함께 증가하였다. 타원분광 결과로부터 굴절률의 감소는 이축변형력 증가에 따른 격자상수의 축소에 의한 것임이 밝혀 졌으며, 광학흡수 피크는 변형력 증가에 따라 고에너지 쪽으로 이동하였다.

(출처:연구결과 요약문 p.3)

목차 Contents

• 표지 ... 1목차 ... 2Ⅰ. 연구결과 요약문 ... 3Ⅱ. 연구내용 및 결과 ... 4 1. 연구과제의 개요 ... 4 2. 국내외 기술개발 현황 ... 4 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 4 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 6 5. 연구결과의 활용계획 ... 6 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 6Ⅲ. 연구성과 ... 7끝페이지 ... 14