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보고서 상세정보

UV 조사에 의한 a-IGZO 박막의 전기적 특성 변화 mechanism 연구 및 응용

The conductivity transition of a-IGZO thin film by UV irradiation: mechanism study and application

과제명 UV 조사에 의한 a-IGZO 박막의 전기적 특성 변화 mechanism 연구 및 응용
주관연구기관 한양대학교
HanYang University
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2016-10
과제시작년도 2015
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201700014766
과제고유번호 1711029501
사업명 신진연구자지원
DB 구축일자 2017-11-18
키워드 비정질 IGZO.자외선 조사 시간 및 강도.평탄한 소자.광학 도핑.단상 단물질 TFT.투명하고 유연한 소자.선택적인 UV 조사.Amorphous IGZO.UV irradiation time and intensity.Coplanar structure.Optical doping.Single phase and single material TFT.TCO.Selective UV irradiation.Transparent flexible device.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700014766
초록

■ UV 조사에 따른 a-IGZO 박막의 전기 전도도 변화 mechanism 규명
1. UV 조사 시 a-IGZO 박막의 비저항 변화를 다양한 공정조건에서 관찰함
- UV 조사시간: UV 조사시간이 증가함에 따라 비례하여 ...

Abstract

■ Identification of conductivity change in a-IGZO thin film by UV irradiation
1. The variation of resistivity of a-IGZO thin fi...

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표 / 그림 (33)